コンパクトフレキシブルパワフル

S lynxは、産業および研究用に開発された非接触3D表面プロファイラの新製品です。多用途のコンパクトなシステムとして開発されました。S lynxは様々な表面スケールの異なる表面性状、構造、粗さ、うねりを測定できます。S lynxの多用途性により、幅広い範囲の高品質な表面測定に使用できます。Sensofar独自の3-in-1測定技術により理想的な性能が保証されています。また、関連するSensoSCANソフトウェアにより驚くほど直感的に使用でき、さらに高い性能を補完しています。

用途

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  • 自動車
  • 民生品のエレクトロニクス
  • エネルギー
  • LCD
  • 材料科学
  • マイクロエレクトロニクス
  • マイクロマニュファクチャリング
  • 微古生物学
  • 光学
  • 機械工具
  • 半導体
  • 時計製造

3-in-1テクノロジー

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共焦点法

共焦点プロファイラは、滑らかな表面から非常に粗い表面に至るまで、様々な性状の表面を測定するために開発されました。共焦点プロファイリングは、光学プロファイラで獲得できる最高レベルの水平解像度を実現します。したがって、空間サンプリングを微小寸法測定に理想的な0.01 μmのレベルまで低減することが可能です。高いNA(0.95)と倍率(150倍)の対物レンズを用いて、傾度70°以上の鋭い局所傾斜の滑らかな表面を測定できます(粗い表面の場合は最大傾度86°)。独自の共焦点アルゴリズムにより、他に類を見ないナノメートルスケールの垂直方向での再現性を実現します。

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干渉法

垂直走査白色干渉法(VSI)は、トポグラフィーや透明膜の構造などの表面特性の測定で広く用いられる強力な技法です。滑らかな表面から中程度の粗さの表面の測定に最適で、対物レンズのNAや倍率を問わず、ナノメートルレベルの垂直解像度を実現します。

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焦点移動法

焦点移動法は、大きな粗い表面を測定するために開発された光学技術です。この技術は、共焦点と干渉法ぼ3D測定技法を組み合わせた分野における、Sensofarの広範な専門知識に基づいて開発され、低い倍率での共焦点測定を補完することを目的に設計されています。この技術は、傾斜の鋭い表面(最大傾度86°)の測定、最高速度(mm/s)の測定、広い垂直範囲に対応していることが特徴です。この測定機能の組み合わせは、主に機械工具に使用されています。

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可動部品なしの

共焦点走査

Sensofarのシステムに実装されている共焦点走査技法は、特許を取得したマイクロディスプレイ走査技術を採用しています。マイクロディスプレイはシリコン基板の強誘電性液晶(FLCoS)技術をベースとし、可動部のない高速切り替えデバイスとなることで、迅速に確実かつ正確な共焦点画像の走査を可能にします。マイクロディスプレイと関連アルゴリズムにより、Sensofarの共焦点技法は、他の共焦点手法やレーザー走査共焦点システムよりも優れた、クラス最高の垂直解像度を実現します。また、データのフィルタリングは一切行いません。

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