Kompakt. Flexibel. Leistungsstark.
Das S lynx ist ein neues berührungsloses 3D-Oberflächenprofilometer zum Einsatz in Industrie und Forschung. Es wurde als kompaktes und vielseitiges System konzipiert. Das S lynx ist in der Lage, unterschiedliche Texturen, Strukturen, Rauhigkeiten und Welligkeiten auf verschiedenen Oberflächenskalen zu messen. Aufgrund seiner Vielseitigkeit eignet sich das S lynx für eine breite Palette von High-End-Oberflächenanwendungen. Die proprietäre 3-in-1-Messtechnik von Sensofar garantiert optimale Leistung, ergänzt durch die unglaublich intuitive Handhabung unter Einsatz der SensoScan-Software.
Anwendungsbereiche
- Automobilindustrie
- Unterhaltungselektronik
- Energiewirtschaft
- LCD
- Werkstoffkunde
- Mikroelektronik
- Mikrofertigung
- Mikropaläontologie
- Optik
- Werkzeugtechnik
- Halbleitertechnik
- Uhrenbau
3-in1-Technologien
Konfokal
Konfokal-Profilometer erlauben
die Vermessung unterschiedlichster Oberflächen, von glatt bis sehr rau. Die Konfokal-Technik liefert dabei die höchstmögliche von optischen Profilometern erreichbare laterale Auflösung. Die Reduzierung der räumlichen Abtastung auf 0,01 μm erweist sich als ideal für die Vermessung kritischer Dimensionen. Objektive mit hoher numerischer Apertur (0,95) und starker Vergrößerung (150X) ermöglichen die Vermessung glatter Oberflächen mit steilen Flanken von über 70º (bis 86º bei rauen Oberflächen). Die proprietären Konfokal-Algorithmen liefern eine einzigartige vertikale Wiederholbarkeit im nm-Bereich.
Interferometrie
Die Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine weit verbreitete und leistungsfähige Technik zur Messung von Oberflächeneigenschaften wie z. B. der Topographie oder der Dicke transparenter Schichten. Sie eignet sich hervorragend für glatte bis mäßig raue Oberflächen und liefert unabhängig von der numerischen Apertur oder der Vergrößerung des Objektivs eine vertikale Auflösung im nm-Bereich.
Fokusvariation
Die Fokusvariation wurde zur Formmessung großer, rauer Oberflächen entwickelt. Diese Technik basiert auf Sensofars umfassendem Know-how bei der Kombination von konfokaler und interferometrischer 3D-Messtechnik und ist als Ergänzung konfokaler Messungen mit niedrigem Vergrößerungsfaktor gedacht. Zu den Highlights der Technik zählen die messbaren Flankenwinkel von bis zu 86º, die sehr hohe Messgeschwindigkeit (mm/s) und der große vertikale Auflösungsbereich. Dieses Kombinationssystem kommt vor allem bei der Formmessung von Werkzeugen zum Einsatz.
Konfokal mit nicht
beweglichen Teilen
beweglichen Teilen
Die Konfokaltechnik wird mittels Sensofars patentierter Display-Technologie realisiert. Dabei kommt ein FLCoS-Mikrodisplay (Ferroelectric Liquid Crystal on Silicon) mit kurzen Schaltzeiten zum Einsatz, das ohne bewegliche Bauteile auskommt und so eine schnelle, zuverlässige und präzise Erfassung konfokaler Bilder ermöglicht. In Kombination mit dem Mikrodisplay und den zugehörigen Algorithmen liefert die Konfokaltechnik von Sensofar eine erstklassige vertikale Auflösung, die andere Konfokalsysteme und selbst konfokale Laser-Scanning-Mikroskope in den Schatten stellt. Und das alles ohne Datenfilter.
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