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テクノロジー

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共焦点法

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干渉法

VSI

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焦点移動法

光源

icon_Light

550nm

寸法

対物レンズ性能

Brightfield
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2
FOV1 (µm) 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88
Spatial sampling2 (µm) 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 0.09
Optical resolution3 (µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17
Measurement time4 (s) >3

共焦点法

Vertical resolution5 (nm) 75 25 8 3 2 1
Maximum slope6 (º) 8 14 21 42 51 71

焦点移動法

Min. measurable roughness Sa > 10 nm
Maximum slope up to 86º

利用可能なその他の対物レンズ (共焦点法 / 焦点移動法):

液浸 | 長作動距離 | 超長作動距離 | ガラス厚補正

1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。    2 表面のピクセルサイズ。  3 L&S: ライン&スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。空間サンプリングが干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。  4 明視野対物レンズの場合、21走査面(共焦点)。  5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。  6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大86º。

Interferometric
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132
Spatial sampling2 (µm) 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13
Optical resolution3 (µm) 2.58 1.29 0.65 0.25 0.20
Measurement time4 (s) >3

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 8 14 21 25 42

1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。    2 表面のピクセルサイズ。  3 L&S: ライン&スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。空間サンプリングが干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。  4 干渉対物レンズの場合、10 µm走査レンジ。  5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。  6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大86º。 

ストレージ性能

Z LINEAR SCALE
Vertical range 40 mm (1.6″)
Linearity <0.5 µm/mm
Resolution 2 nm

コンピュータ & オペレーティングシステム

PC HP Z230SSF

画面 HP27i 2560×1440 px

オペレーティングシステム 64 ビット版のMicrosoft Windows 10
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