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Lichtquelle

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

580nm

Abmessungen

S lynx 2 specifications - Dimensions, options & accessories

Objektiv-Spezifikationen

Hellfeld
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90
WD (mm) 20 15.8 3.0 1.0 2.0
Sichtfeld FOV1 (µm) 2820 x 2820 1410 x 1410 700 x 700 280 x 280 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.27 0.13
Optische Auflösung3 (µm) 1.11 0.55 0.37 0.21 0.15

Konfokal / Ai Focusvariation

Systemrauschen4 (nm) 120 45 10 4 3
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) 120 45 10 4 3
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Values obtained in a VC-E vibration environment.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Other objectives are available.

Interferometrisch
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
Sichtfeld FOV1 (µm)
5650 x 5650 2820 x 2820 1410 x 1410 700 x 700 280 x 280 140 x 140
Räumliche Abtastung2 (µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.27 0.07
Optische Auflösung3 (µm) 2.32 1.34 0.58 0.44 0.32 0.25

CSI

Systemrauschen4 (nm) <5 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 7 17 24 33 44
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
Systemrauschen4 (nm) <5 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Other objectives are available.

XYZ-Spezifikationen

XY
XY Motorisiert
Verfahrweg (mm) 125 x 75
Z
Z Linear stage
Vertikaler Messbereich 20 mm
Auflösung 5 nm

Präzision und Wiederholbarkeit

Standard Value Uncertainty (U) Repeatability (σ) Technique
Stufenhöhe (H) <10 µm U= (0.005 + H/50) μm <10 nm Konfokal, AiFV und CSI
>10 µm U = (0.120 + H/120) μm >10 nm Konfokal, AiFV und CSI
Flächenrauheit (Sa) 0.79 µm 40 nm 6 nm Konfokal, AiFV und CSI

Values obtained in a VC-E vibration environment. Objective used
for Confocal and Ai Focus Variation 50X 0.80 NA and for CSI 50X 0.55NA. Resolution 1024×1024
pixels. Extended uncertainty (U) according to ISO/IEC guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level
of confidence 95%). σ according to 25 measures.

Computer und Betriebssystem

-	PC flexibility
Computer Intel® Core™ i5/i7 Processor Ethernet connectivity,
minimum 1920 x 1080 display resolution
Betriebssystem Microsoft Windows 10 or higher
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