Technologien
Lichtquelle
460nm
580nm
Abmessungen
Objektiv-Spezifikationen
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
| WD (mm) | 20 | 15.8 | 3.0 | 1.0 | 2.0 |
| Sehfeld FOV1 (µm) | 2820 x 2820 | 1410 x 1410 | 700 x 700 | 280 x 280 | 141 x 141 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.27 | 0.13 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 1.11 | 0.55 | 0.37 | 0.21 | 0.15 |
Konfokal / Ai Fokusvariation
1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Values obtained in a VC-E vibration environment. 5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.
| Systemrauschen4 (nm) | 120 | 45 | 10 | 4 | 3 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 |
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| System noise4 (nm) | 120 | 45 | 10 | 4 | 3 |
| Maximum slope5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 |
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| Sehfeld FOV1 (µm) | 5650 x 5650 | 2820 x 2820 | 1410 x 1410 | 700 x 700 | 280 x 280 | 140 x 140 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 5.52 | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.27 | 0.07 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 2.32 | 1.34 | 0.58 | 0.44 | 0.32 | 0.25 |
CSI
| Systemrauschen4 (nm) | <5 nm | |||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| Systemrauschen4 (nm) | <5 nm | |||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.
Präzision und Wiederholbarkeit
| Norm | Wert | Unsicherheit (U) | Wiederholbarkeit (σ) | Technologie |
| Stufenhöhe (H) | <10 µm | U= (0.005 + H/50) μm | <10 nm | Konfokal, AiFV und CSI |
| >10 µm | U = (0.120 + H/120) μm | >10 nm | Konfokal, AiFV und CSI | |
| Flächenrauheit (Sa) | 0.79 µm | 40 nm | 6 nm | Konfokal, AiFV und CSI |
Werte, die in einer VC-E-Schwingungsumgebung ermittelt wurden. Objektiv für konfokale und Ai-Fokusvariation 50X 0,80 NA und für CSI 50X 0,55NA. Auflösung 1024×1024 Pixel. Erweiterte Unsicherheit (U) nach ISO/IEC-Leitfaden 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (Konfidenzniveau 95%). σ nach 25 Messungen.
Computer und Betriebssystem
| Computer | Intel® Core™ i5/i7 Prozessor-Ethernet-Konnektivität, mindestens 1920 x 1080 Bildschirmauflösung |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10 oder höher |
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