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Lichtquelle

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

580nm

Abmessungen

S lynx 2 specifications - Dimensions, options & accessories

Objektiv-Spezifikationen

Hellfeld
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90
WD (mm) 20 15.8 3.0 1.0 2.0
Sehfeld FOV1 (µm) 2820 x 2820 1410 x 1410 700 x 700 280 x 280 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.27 0.13
Optische Auflösung3 (µm) 1.11 0.55 0.37 0.21 0.15

Konfokal / Ai Fokusvariation

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Values obtained in a VC-E vibration environment.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

Systemrauschen4 (nm) 120 45 10 4 3
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
System noise4 (nm) 120 45 10 4 3
Maximum slope5 (º) 9 17 27 53 64
Interferometrisch
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
Sehfeld FOV1 (µm)
5650 x 5650 2820 x 2820 1410 x 1410 700 x 700 280 x 280 140 x 140
Räumliche Abtastung2 (µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.27 0.07
Optische Auflösung3 (µm) 2.32 1.34 0.58 0.44 0.32 0.25

CSI

Systemrauschen4 (nm) <5 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 7 17 24 33 44
MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
Systemrauschen4 (nm) <5 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

XYZ-Spezifikationen

XY
XY Motorisiert
Verfahrweg (mm) 125 x 75
Z
Z Lineare z-Achse
Vertikaler Messbereich 20 mm
Auflösung 5 nm

Präzision und Wiederholbarkeit

Norm Wert Unsicherheit (U) Wiederholbarkeit (σ) Technologie
Stufenhöhe (H) <10 µm U= (0.005 + H/50) μm <10 nm Konfokal, AiFV und CSI
>10 µm U = (0.120 + H/120) μm >10 nm Konfokal, AiFV und CSI
Flächenrauheit (Sa) 0.79 µm 40 nm 6 nm Konfokal, AiFV und CSI

Werte, die in einer VC-E-Schwingungsumgebung ermittelt wurden. Objektiv für konfokale und Ai-Fokusvariation 50X 0,80 NA und für CSI 50X 0,55NA. Auflösung 1024×1024 Pixel. Erweiterte Unsicherheit (U) nach ISO/IEC-Leitfaden 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (Konfidenzniveau 95%). σ nach 25 Messungen.

Computer und Betriebssystem

S lynx 2 - PC flexibility
Computer Intel® Core™ i5/i7 Prozessor-Ethernet-Konnektivität,
mindestens 1920 x 1080 Bildschirmauflösung
Betriebssystem Microsoft Windows 10 oder höher
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