Abmessungen
mm (Zoll)
Gewicht: 3.6 Kg (7.9 lbs)
Technologien
Interferometrie
VSI
Interferometrie
550 nm
Objektivlinsen
Interferometrie
| Vergrößerung | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 5040 x 3780 | 2520 x 1890 | 1260 x 945 | 630 x 472 | 252 x 189 | 126 x 94 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 7.88 | 3.94 | 1.97 | 0.98 | 0.39 | 0.19 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 7.62 | 3.81 | 1.91 | 0.95 | 0.38 | 0.23 |
| Systemrauschen4 (nm) | 1 | |||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 3 | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 |
Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik
1 Max. Sehfeld (FOV) mit 1/3″-Kamera und 0,375X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für grüne LED. Die räumliche Auflösung kann die optische Auflösung begrenzen. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. In VC-E Vibrationsumgebung erzielte Werte. 5 Auf glatten Oberflächen.
Z-Performance
| Z | LINEARE SKALA |
| Vertikaler Messbereich | 40 mm (1.6″) |
| Linearität | <0.5 µm/mm |
| Auflösung | 2 nm |
Wiederholbarkeit
| Stufenhöhe Wiederholbarkeit | <3 nm |
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