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Sensofar-Konfokal

Konfokal-Profilometer ermöglichen die Vermessung unterschiedlichster Oberflächen, von glatt bis sehr rau. Die Konfokal-Profilierung liefert dabei die höchste laterale Auflösung bis zu 0,15 μm. Die Reduzierung der räumlichen Abtastung auf 0,01 μm erweist sich als ideal für die Vermessung kritischer Dimensionen.

HINTERGRUND

Konfokal-Prinzip

Die Konfokaltechnologie ist in der Lage, die Oberflächenhöhe zu messen und konventionelle Bilder in optische Schnitte umzuwandeln. In diesen Bildern bleibt das Signal für die Bereiche innerhalb der Tiefenschärfe des Objektivs erhalten, wodurch der Bildkontrast sowie die laterale Auflösung und das Systemrauschen verbessert werden.

Confocal Image
Confocal Image
Background Confocal

OPTISCHER AUFBAU

Für die 3D-Bildgebung müssen Daten aus allen Pixeln der Kamera erzeugt werden. Mit anderen Worten: Es muss ein konfokales Bild rekonstruiert werden. Dazu wird das Mehrfachschlitzbild so oft um ein Pixel verschoben, wie dies erforderlich ist, um die Kamera zu füllen. In jedem der verschobenen Mehrfachschlitze nimmt die Kamera ein Bild auf, und der konfokale Algorithmus wird auf die in diesem Moment beleuchteten Pixel angewendet.

S neox Confocal Configuration
S neox patented internal configuration

SENSOFAR-PATENTE

Keine beweglichen Teile im Optikaufbau

Bei der in den Systemen von Sensofar eingesetzten Konfokaltechnik handelt es sich um ein Scan-Mikroskop mit Mikrodisplay (gemäß ISO 25178, Teil 607). In Kombination mit dem Mikrodisplay entsteht ein Gerät mit kurzen Schaltzeiten ohne bewegliche Teile, das für eine schnelle, zuverlässige und präzise Datenerfassung sorgt. In Kombination mit den zugehörigen Algorithmen liefert die Konfokaltechnik von Sensofar eine erstklassige vertikale Auflösung.

PROPRIETÄRE ALGORITHMEN

Nicht zu stoppen Kontinuierlich konfokal

Ein revolutionärer Schritt in der konfokalen Messtechnik, der die Erfassungszeit stetig um den Faktor 3 reduziert. Der kontinuierliche konfokale Modus vermeidet die diskrete (und zeitaufwändige) Erfassung der einzelnen Ebenen im klassischen konfokalen Modus durch gleichzeitiges Scannen in der Ebene und auf der Z-Achse. Unverzichtbar für die Reduzierung der Erfassungszeiten bei großflächigen Scans und großen Z-Scans.

Continuous Confocal Algorithm
Banner Webinar Confocal
HDR Confocal

SCHLÜSSELMERKMALE

Die Konfokal-Profilierung liefert dabei die höchste laterale Auflösung bis zu 0,15 μm. Die Reduzierung der räumlichen Abtastung auf 0,01 μm erweist sich als ideal für die Vermessung kritischer Dimensionen. Objektive mit hoher numerischer Apertur (0,95) und starker Vergrößerung (150X) ermöglichen die Vermessung glatter Oberflächen mit steilen Flanken von über 70º (bis 86º bei rauen Oberflächen).  

  Beste laterale Auflösung: 300 nm (Rayleigh- Kriterien) 

  Flanken bis 70° bei glatten Oberflächen und 86° bei rauen Oberflächen 

  Kontinuierlich konfokal: Geschwindigkeit vergleichbar mit AiFV 

  Hohe Wiederholbarkeit, Systemrauschen auf bis zu 1 nm reduziert

  Stärkemessungen von 1,5 μm bis mehrere mm 

  Höchste Flexibilität

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Konfokale Systeme

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