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MESSPRINZIPIEN

3D optical metrology techniques

Erweiterte optische Messtechniken

Einige unserer von Anfang an als leistungsstarke optische 3D-Profilometer konzipierten Systeme kombinieren alle Techniken und sind daher allen existierenden optischen Profilometern deutlich überlegen.

RANDPROJEKTION
fringe_projection_tech

Die Randprojektion eignet sich perfekt für großflächige Messungen und bietet eine hohe vertikale Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei geringem Systemrauschen.

Fringe Projection measurement of a Tablet, high vertical accuracy
fringe_projection_tech

Die Randprojektion eignet sich perfekt für großflächige Messungen und bietet
eine hohe vertikale Genauigkeit und Wiederholbarkeit
bei geringem Systemrauschen.

AI-FOKUSVARIATION
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Die Ai-Fokusvariation wurde zur Formmessung großer rauer Oberflächen entwickelt und verbessert. Die optimale Wahl für messbare Flankenwinkel.

Active Illumination Focus Variation example
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Die Ai-Fokusvariation wurde zur
Formmessung großer rauer Oberflächen
entwickelt und verbessert. Die optimale Wahl
für messbare Flankenwinkel.

Active Illumination Focus Variation example
KONFOKAL
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Konfokal-Profilometer messen die Oberflächenhöhe von glatten bis sehr rauen Oberflächen und sind daher ideal für Messungen kritischer Dimensionen.

Confocal texture
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Konfokal-Profilometer messen die Oberflächenhöhe
von glatten bis sehr rauen Oberflächen
und sind daher ideal für Messungen
kritischer Dimensionen.

INTERFEROMETRIE
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Interferometrische Techniken können gezielt für bestimmte Anwendungen eingesetzt werden, um die Messungen von sehr glatten und kontinuierlichen bis hin zu mäßig rauen Oberflächen zu ermöglichen.

Interferometry exmple
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Interferometrische Techniken können gezielt
für bestimmte Anwendungen eingesetzt werden,
um die Messungen von sehr glatten
und kontinuierlichen bis hin zu mäßig
rauen Oberflächen zu ermöglichen.

Interferometry exmple
SPEKTROSKOPISCHE REFLEKTOMETRIE
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Bei transparenten Schichtproben ist die spektroskopische Reflektometrie der Schlüssel für rasche, präzise und zerstörungsfreie Stärkemessungen.

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Bei transparenten Schichtproben
ist die spektroskopische Reflektometrie
der Schlüssel rasche, präzise und
zerstörungsfreie Stärkemessungen.

PORTFOLIO

Kombinierte Technologien

In unseren Systeme kommen verschiedene optische Messtechniken zum Einsatz, die zum Teil kombiniert werden. Die Verbindung dieser technologischen Vorteile, die Einbeziehung der neuesten Technologie und der Software, mit der sie betrieben werden, führt zu einer Ausrüstung auf hohem Niveau mit maximaler Wettbewerbsfähigkeit auf dem Markt.

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s-neox2
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2
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s-neox2
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Wozu 4-in-1-Technologien?

4-in-1 optical metrology techniques graph

Beim 4-in-1-Ansatz wie in der Messtechnikreihe Sensofar S neox reicht ein Mausklick zur Auswahl der für die jeweilige Aufgabe vorteilhaftesten Technik. Der S neox-Sensorkopf bietet 4 Messtechniken – Ai-Fokusvariation, Konfokal, Interferometrie und spektroskopische Reflektometrie – und trägt somit entscheidend zur Vielseitigkeit des Systems bei und minimiert unerwünschte Kompromisse bei der Datenerfassung. Mit dieser Kombination liefert Sensofar eine beispiellos leistungsstarke Oberflächenmessung.

PATENTIERTE TECHNOLOGIE

Das Mikrodisplay ist der Schlüssel!

Die Systeme von Sensofar verwenden eine patentierte Mikrodisplay-Scantechnologie. Dabei kommt ein FLCoS-Display (Ferroelectric Liquid Crystal on Silicon) mit kurzen Schaltzeiten zum Einsatz, das ohne bewegliche Bauteile auskommt und so eine schnelle, zuverlässige und präzise Erfassung konfokaler Bilder ermöglicht. In Kombination mit hochauflösenden Scantischen und austauschbaren Objektiven entsteht so ein flexibles optisches System.

3D optical metrology techniques Microdisplay Image

Dont's miss the
MASTERCLASS!
The most popular optical
measurement techniques
(Confocal, Interferometry,
Focus Variation and
Spectroscopic Reflectometry),
found in most of the systems
in the market, enable users to
obtain the measurements
they need in their surface
metrology works.
Watch the webinar WEBINARS
techniques-webinar-610-02

Lassen Sie sich die MASTER CLASS nicht entgehen!

Mit den populärsten optischen Messtechniken (konfokal, Interferometrie, Fokusvariation und spektroskopische Reflektometrie), die in den meisten Systemen auf dem Markt zu finden sind, sind Benutzer in der Lage, die für ihre Arbeit in der Oberflächenmesstechnik benötigten Messungen durchzuführen.