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ANWENDUNGEN

Display

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Unsere Systeme werden hauptsächlich bei der Herstellung von FPDs (Flat Panel Displays) eingesetzt, um verschiedene Merkmale – Arrays, Beschichtungen oder Abstandshalter – zu messen. Je nachdem in welcher Phase der Herstellung die Charakterisierung durchgeführt wird.

TFT topography

TFT-Array im LCD

Es gibt eine Methode zur Herstellung von LCDs (Liquid Crystal Displays), die den Kontrast und die Geschwindigkeit des Displays verbessert. Es wird TFT-Technologie (Thin Film Transistor) genannt. TFTs werden mittels Photolithographie hergestellt und es ist wichtig, die Höhe jeder der Schichten zu kennen.

Multiple Step Height logo plugin

Das Multiple Step Height Plugin erkennt 3 verschiedene Höhen und markiert die Bereiche der Topographie, welche derselben Höhenebene zusammengehören. In diesem Fall ist jede der erkannten Ebenen eine Schicht, die aufgebracht wurde, um das TFT-Array zu erstellen.

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TFT topography
Foldable smartphone topography

Faltbares

Smartphone

Die neuesten Smartphones und Tablets haben flexible Bildschirme integriert, die gefaltet werden können. Unser S wide wird von Bildschirmherstellern verwendet, um die Tiefe und Breite der faltbaren Fläche zu charakterisieren. In diesem Beispiel haben wir 4×4-Stitching verwendet.

log66-01l-a-sensoview

Für die Messung der kritischen Dimensionen wird diese leistungsstarke Software verwendet.

OLED-FMM

Ein FMM-Muster (Fine Metal Mask) wird zum Abscheiden von Ebenen verwendet, die die RGB-Pixel in einem OLED-Display bilden. Gemessen wird die Breite und Länge des Musters, da hierdurch die Größe der abgelegten Pixel definiert wird.

FMM topography
R Hole logo plugin

Trends in einem Datensatz können leicht mit den automatisch generierten Diagrammen erkannt werden, während der Analyse mit dem Rectangular Hole-Plugin.

R hole plugin topo
Spacer topography

Abstandhalter vom

TFT-Dünnschichttransistor

Displays bestehen aus mehreren Ebenen, welche einen gewissen Abstand zueinander haben müssen. Abstandshalter sind Strukturen, die über den gesamten Bildschirm verteilt sind, um diesen Abstand zu gewährleisten. Abstandshalter können jede beliebige Form haben; Die meisten sind oval, rund oder rechteckig.

Spacer logo plugin
Trench topography

UV-Filtermessung

Es gibt Schichten in einigen Displays, die potenziell gefährliches Licht filtern, das von Geräten ausgeht. Diese können solch eine Form haben.

Trench logo plugin
Trench topography

FPD-Beschichtungsneigung

Bei der Herstellung eines Displays werden bei der Photolithographie mehrere Beschichtungen aufgetragen. Oft muss man die Gleichmäßigkeit der Beschichtung durch die Strukturen verstehen.

FPD Topography
log66-01l-a-sensoview

Mit dieser hervorragenden Analysesoftware ist es einfach, die passende Profillinie (für jede Richtung) einzuzeichnen und eine manuelle Überprüfung durchzuführen. Das Bild zeigt die Ebenheit der Beschichtung auf der Oberseite der zu prüfenden Struktur.

Sonstige Anwendungen

Lösungen

Berührungslose 3D-Oberflächenmesstechnik

S neox 3D optical systems for Industry and research
S wide 3D optical systems for Industry and research
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Integrierbare Messtechnik

Integrable Head S wide
Integrable Head S neox
Integratable Head S mart
Integratable Head S onix
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