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Sensofar Spektroskopische Reflektometrie

Die spektroskopische Reflektometrie ermöglicht rasche, präzise und zerstörungsfreie Messungen von Dünnschichten ohne Probenvorbereitung.

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Sensofar Spektroskopisch Reflektometrie

Die spektroskopische Reflektometrie ermöglicht rasche, präzise und zerstörungsfreie Messungen von Dünnschichten ohne Probenvorbereitung.

HINTERGRUND

Dünnschicht

Wenn eine transparente Schicht auf eine Oberfläche aufgebracht wird, ändert sich ihre Reflektivität. Das System erfasst das Reflexionsspektrum der Probe im sichtbaren Bereich. Die Werte werden mit von der Software berechneten Spektren verglichen, wobei die Schichtdicke so lange geändert wird, bis die beste Anpassung ermittelt ist. Bei Dünnschichten entspricht die Stärke der Lichtwellenlänge, und es ergibt sich eine wellenförmige Reaktion der Reflektivität entlang des optischen Spektrums.

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SCHLÜSSELMERKMALE

Transparente Schichten von 50 nm bis 1,5 μm können in weniger als fünf Sekunden gemessen werden

  Transparente Schichten von 50 nm bis 1,5 μm

  Erfassung in weniger als 5Sekunden

  Ein Objektiv kann den gesamten Bereich abdecken

  Unterschiedliche Punktgrößen (3,5 μm bis 40 μm) 

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