INTEGRATION 3D-MESSKÖPFE
Integrierbare Messtechnik
Die integrierbaren 3D-Messköpfe von Sensofar
sind das Ergebnis von mehr als 20 Jahren Erfahrung
mit Systemen für die Oberflächenmesstechnik.
Robust und zuverlässig
Produktionsumgebungen sind oft feindlich für Messgeräte: variable Bedingungen, Vibrationen, aggressive Materialien usw. erschweren die Messaufgaben. Unsere integrierbaren 3D-Messköpfe wurden genau unter diesem Gesichtspunkt entwickelt. Der versiegelte Sensorkopf hält Schmutz und Partikel fern. Unser optischer Aufbau enthält keine beweglichen Teile, so dass die Messköpfe lange Zeit sauber und justiert bleiben.
Kompakt, leicht und unabhängig von der Ausrichtung
Die geringe Größe und das niedrige Gewicht machen die Integration einfach. Unsere Messköpfe von Sensofar sind in jeder Ausrichtung funktionsfähig und können so positioniert werden, wie es die Anwendung erfordert. Die Kabellänge beträgt bis zu 20 m. Unsere Sensoren sind sowohl für die Inline-Produktion als auch für robotermontierte Sensoranwendungen geeignet.
Sensofar Event 22
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Unsere Lösungen
Die 3D-Sensoren von Sensofar sind so konzipiert, dass sie die höchsten Anforderungen in QC&QA-Anwendungen erfüllen.
Unser Angebot an 3D-Messköpfen umfasst vielseitige Systeme, welche verschiedenste Texturen und Strukturen vom nm- bis in den cm-Bereich messen können.
Die 3D-Sensoren von Sensofar sind so konzipiert, dass sie die höchsten Anforderungen in QC&QA-Anwendungen erfüllen.
Unser Angebot an 3D-Messköpfen umfasst vielseitige Systeme, welche verschiedenste Texturen und Strukturen vom nm- bis in den cm-Bereich messen können.
Das S mart 2 ist das einzige flächenkonfokale 3D Messsystem auf dem Markt, das auch ein autonomer Sensor ist. Es ist die perfekte Kombination aus kompaktem Design und Vielseitigkeit.
FOV (Einzelaufnahme) > 5.6 x 5.6 mm
Computer Eingebettet in den Kopf
Erfassungszeit 2 s
Optische Auflösung < 155 nm
Systemrauschen < 3 nm
Das S mart 2 ist das einzige flächenkonfokale 3D Messsystem auf dem Markt, das auch ein autonomer Sensor ist. Es ist die perfekte Kombination aus kompaktem Design und Vielseitigkeit.
FOV (Einzelaufnahme) > 5.6 x 5.6 mm
Computer Eingebettet in den Kopf
Erfassungszeit 2 s
Optische Auflösung < 155 nm
Systemrauschen < 3 nm
Der S neox Sensorkopf erfüllt den Wunsch nach maximaler Flexibilität in einem integrierbaren Messkopf und ist damit das vielseitigste industrielle System auf dem Markt.
FOV (Einzelaufnahme) > 6.7 x 5.6 mm
Erfassungszeit 3 s
Optische Auflösung < 148 nm
Systemrauschen < 0.01 nm
Das S neox Cleanroom ist der vielseitigste integrierbare 3D Messkopf auf dem Markt und der einzige Messkopf für Reinraumanwendungen, der ISO Class 1 zertifiziert ist.
FOV (Einzelaufnahme) > 6.7 x 5.6 mm
Erfassungszeit 3 s
Optische Auflösung < 148 nm
Systemrauschen < 0.01 nm
Der S wide wurde entwickelt, um große Flächen in kürzester Zeit zu messen und eignet sich für Anwendungen, bei denen Geschwindigkeit und Formmessung im Vordergrund stehen.
FOV (Einzelaufnahme) > 34.7 x 29.1 mm
Erfassungszeit 3 s
Optische Auflösung 9.35 µm
Systemrauschen 1 µm
Streifenlichtprojektion 
Ai-Fokusvariation 
Konfokal 
Interferometrie 
Spektroskopische Reflektometrie
Kundenbeispiele
WSM1300
Oberflächenmesssystem für Wafer
Das WSM1300 Obflächenmesssystem für Wafer ist ein von QES entwickeltes Produkt, das den S mart 2-Sensorkopf integriert und eine automatisierte Messlösung für 8″ SEMI Standard Open Cassette und 12″ SEMI Standard FOUP und FOSB anbietet. Ausgestattet mit einem universellen Ladeanschluss mit Mapping-Sensor, einem Hirata ATM-Roboterarm, einem Wafer-Pre-Aligner und einem Wafer-ID-Reader verarbeitet das System Wafer-Kassetten reibungslos und bietet eine umfassende und präzise Lösung für die Analyse der Oberflächentopographie.
AMS650
PCB 3D automatische Messmaschine
Das von BRET entwickeltes Produkt AMS650, kombiniert den S neox-Sensorkopf mit einem 650 x 650 mm XY-Tisch, und bietet so eine automatisierte Lösung für die Leiterplatteninspektion. Mit Hilfe der SensoPRO-Software analysiert der AMS650 automatisch alle Daten und erstellt einen Pass/Fail-Bericht. Dieser technologische Meilenstein vereinfacht die Inspektion von Leiterplatten während des Produktionsprozesses. Es werden wichtige Merkmale wie Pads, Durchkontaktierungen, Abmessungen der Leiterbahnen und Oberflächenbeschaffenheit und vieles mehr gemessen.
Schema der Messkopfintegration mit SDK
Durch Kombination unserer Software und Hardware ergibt sich eine Komplettlösung für die Messanwendung. In diesem Schema wird der Arbeitsablauf der Messung dargestellt: von der Programmierung des Messkopfes mittels SDK, über die Erfassung der Messung bis hin zur Einstellung, welche Analyse mit den Ergebnissen durchgeführt werden soll.
Durch Kombination unserer Software und Hardware ergibt sich eine Komplettlösung für die Messanwendung. In diesem Schema wird der Arbeitsablauf der Messung dargestellt: von der Programmierung des Messkopfes mittels SDK, über die Erfassung der Messung bis hin zur Einstellung, welche Analyse mit den Ergebnissen durchgeführt werden soll.
SensoPRO wird den Anforderungen der Produktionslinie gerecht: Mit kundenspezifischen Plugin-Datenanalysealgorithmen werden spezifische Merkmale automatisch erkannt und analysiert, um schnell einen Pass/Fail-Bericht zu erstellen.
SensoVIEW ist die ideale Software für ein breites Spektrum von Analyseaufgaben. Es enthält eine umfassende Suite von Tools für die vorläufige Untersuchung und Analyse von 3D- oder 2D-Messungen, bietet Rauheits- oder Volumenberechnungen und misst kritische Abmessungen mit einer Reihe von Analysewerkzeugen, die als Bericht oder Datensatz (CSV-Datei) exportiert werden können. Die Analyse kann als Template gespeichert und auf mehrere Messungen angewandt werden.
Unser Software Development Kit (SDK) umfasst eine Reihe von Werkzeugen, die die Fernsteuerung eines oder sogar mehrerer Sensoren ermöglichen. Es erzeugt und verwaltet die Kommunikation zwischen dem Computer des Kunden und den Messköpfen und leitet die erfassten Daten an die Analysesoftware weiter.
Anwendungen
Unsere integrierbaren Sensoren sind für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Mikroelektronik, Optik und Oberflächenbearbeitung geeignet. Sie decken die großen Märkte der modernen Fertigung und der Unterhaltungselektronik ab.
Unsere integrierbaren Sensoren sind für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Mikroelektronik, Optik und Oberflächenbearbeitung geeignet. Sie decken die großen Märkte der modernen Fertigung und der Unterhaltungselektronik ab.
Kundenstimmen
Broschüre Integrierbare Messköpfe
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