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アプリケーション

ディスプレイ

主にFPD(Flat Panel Display)を対象に、アレイ、コーティング、スペーサなど、製造工程のどの段階で評価を行うかによって変化する様々な構造を測定しています。

TFT topography

LCDのTFTアレイ

LCD(液晶ディスプレイ)には、コントラストや表示速度を向上させる製造方法がある。それがTFT(薄膜トランジスタ)技術と呼ばれるものです。TFTはフォトリソグラフィによって製造され、各層の高さを知ることが重要です。

Multiple Step Height logo plugin

多段段差プラグインは、3つの異なる高さを検出し、属する高さレベルにあるトポグラフィの領域をグループ化します。この場合、検出された各レベルは、TFTアレイを作るために蒸着された層です。

multiple-step-height-topo
TFT topography
Foldable smartphone topography

折りたたみスマートフォン

最新のスマートフォンやタブレット端末には、折りたたみ可能なフレキシブルスクリーンが搭載され始めています。S wideは、スクリーンメーカーが折りたたみ可能な領域の深さと幅を評価するために使用されています。この例では、4×4ステッチングを使用しています。

log66-01l-a-sensoview

このパワフルな解析ソフトウェアにより、プロファイル上の重要な寸法を確認することができます。.

OLED FMM

有機ELディスプレイのRGBピクセルを形成する層を成膜するために、ファインメタルマスク(FMM)パターンが使用されます。パターンの幅と長さは、蒸着されるピクセルのサイズを決定づけるため、評価が必要です。

FMM topography
R Hole logo plugin

Rホールプラグインによる解析で取得したデータから自動生成されるグラフにより、データセットの傾向を簡単に見出すことができます。

R hole plugin topo
Spacer topography

-薄膜トランジスタ

ディスプレイは複数の層で構成されており、層の間には一定の間隔が必要です。スペーサは、その間隔を確保するために画面全体に配置された構造物です。スペーサには様々な形状があり、多くは楕円形、円形、長方形です。

Spacer logo plugin
Trench topography

UVフィルタ測定

ディスプレイの内部には、デバイスから発せられる有害な光を遮断する層があり、こういった形状のものがあります。

Trench logo plugin
Trench topography

FPDコーティングの傾向

ディスプレイを製造する際、フォトリソグラフィでいくつかのコーティングが施される。多くの場合、構造を通してコーティングの均一性を評価する必要があります。

FPD Topography
log66-01l-a-sensoview

この解析ソフトウェアは、プロファイル(任意の方向)を選択し、手動で検証を行うための優れたツールです。図は、構造体上部のコーティングの平坦性を確認しているところです。

FPD Topography
log66-01l-a-sensoview

この解析ソフトウェアは、プロファイル(任意の方向)を選択し、手動で検証を行うための優れたツールです。図は、構造体上部のコーティングの平坦性を確認しているところです。

その他のアプリケーション

ソリューション

非接触3D表面計測

S neox 3D optical systems for Industry and research
S wide 3D optical systems for Industry and research
s-lynx-industry-and-reasearch_2022

組込み可能な計測

Integrable Head S wide
Integrable Head S neox
Integratable Head S mart
Integratable Head S onix
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