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应用

我们主要应用于FPD(平板显示器)中,测量不同的结构(阵列、涂层或支柱)取决于制造的不同阶段。

TFT topography

液晶显示器中的TFT阵列

有一种制造LCD(液晶显示器)的方法,该方法提高了显示器的对比度和响应速度。它被称为TFT(薄膜晶体管)技术。TFT是通过光刻技术制造的,了解每一层的高度至关重要。

Multiple Step Height logo plugin

多高度插件可以检测3种不同的高度,并将同高度的地形区域分组。在这种情况下,每一个形成TFT阵列的沉积层都会被检测到。

Multiple Step Height plugin

multiple-step-height-topo
TFT topography
Foldable smartphone topography

可折叠智能手机

最新的智能手机和平板电脑开始采用可折叠的柔性屏幕。屏幕制造商使用我们的S wide来表征可折叠区域的深度和宽度。在本例中,我们使用了4×4拼接。

log66-01l-a-sensoview

功能强大的分析软件展示了剖面线上的关键尺寸。powerful analysis software

OLED FMM

符合规格的金属掩模(FMM)图形用于在OLED显示器中形成RGB像素的沉积层。图案的宽度和长度是具有特征的,因为它们将定义沉积像素的大小。

FMM topography
R Hole logo plugin

通过使用矩形孔插件分析自动测量生成的3D图形,可以轻松发现数据中的趋势。Rectangular Hole plugin.

R hole plugin topo
Spacer topography

TFT支柱-薄层晶体管

显示器由需要隔开一定距离的多层组成。支柱是分布在整个屏幕上的结构,以确保间隙。支柱可以是任何形状;大多数是椭圆形、圆形或矩形。

Spacer logo plugin
Trench topography

紫外滤光片测量

有些显示器内部有多层滤光器,可以过滤设备发出的潜在危险光,有些具有这种形状。

Trench logo plugin
Trench topography

FPD涂层趋势

当制造显示器时,在光刻期间施加若干涂层。通常需要了解通过结构的涂层的均匀性。

FPD Topography
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analysis software 该分析软件是选择剖面(任何方向)和进行手动验证的极好工具。该图像显示了被测量结构顶部的涂层平整度。

FPD Topography
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analysis software 该分析软件是选择剖面(任何方向)和进行手动验证的极好工具。该图像显示了被测量结构顶部的涂层平整度。

解决方案

非接触3D光学轮廓仪

S neox 3D optical systems for Industry and research
S wide 3D optical systems for Industry and research
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可集成量测系统

Integrable Head S wide
Integrable Head S neox
Integratable Head S mart
Integratable Head S onix
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