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Optische Metrologie

Micromeasurements on smooth surfaces with a new confocal optical profiler

Optische Metrologie
Ehrenvorsitzender von Sensofar Metrology, Präsident und CEO von Sensofar Medical, promovierter Physiker

Ein Gründungsmitglied von Sensofar im Jahr 2001 und bis heute bei Sensofar Medical im Jahr 2012.
"Akademische Laufbahn an der Polytechnischen Universität Barcelona (UPC), Professor für Optische Technik beim BCN Masterlehrgang für Photonik und Gründungsmitglied sowie ehemaliger Direktor von CD6, einem Zentrum für technologische Innovation, das zur UPC gehört und von der katalanischen Regierung als Mitglied des TECNIO-Netzwerks anerkannt ist.
"Er ist Autor von mehr als 150 wissenschaftlichen Veröffentlichungen, Betreuer von zehn Master- und Doktorarbeiten, Erfinder von drei internationalen Familienpatenten und verantwortlich für mehr als 50 Forschungsprojekte, die von nationalen und europäischen öffentlichen Stellen und der Privatwirtschaft finanziert werden.
"Er war auch federführend bei der Gründung von \"Southern European Cluster in Photonics and Optics\" (SECPhO) und leitete 14 Jahre lang ein Joint Venture für Investitionen im High-Tech-Sektor.

Micromeasurements on smooth surfaces with a new confocal optical profiler full article
Ferran Laguarta1, Roger Artigas1, Agustí Pintó1 and I. Al-Khatib1 
1Center for Sensors, Instruments and Systems Development (CD6), Universitat Politècnica de Catalunya (UPC) Rambla Sant Nebridi, 10, E-08222 Terrassa, Spain.
Proceedings Volume 3520, Three-Dimensional Imaging, Optical Metrology, and Inspection IV; (1998)
Event: Photonics East (ISAM, VVDC, IEMB), 1998, Boston, MA, United States


The surface metrology market toady is moving towards non- contact modular computer-controlled system for measuring and analyzing roughness, contour and topography. In this paper we present a new optical instrument based on the concept of confocal microscopy. In this instrument, which is especially suitable for measurements on smooth surfaces, either a pinhole or a structured light pattern in imaged by a very high numerical aperture optical system on the surface of the sample to be measured. The reflected light is observed with a CCD array and analyzed with different image data processing algorithms. Two different experimental prototypes were developed to allow the measurement not only of surfaces with good accessibility but also of those with intricate geometries, difficult access and small dimensions. Various samples such as high precision optical surfaces, master gratings, and diamond drawing dies were measured. All the results obtained show that the confocal optical profiler is robust enough to provide a surface topography with spatial resolution lower than 1 micrometers and uncertainty about 10 nm. In addition to the replacement of the existing stylus system, there are also important new potential applications for this kind of instrument.

Three-dimensional micromeasurements