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Einfach
stark

Das neue S neox übertrifft alle bisherigen
optischen 3D-Profilometer in Sachen
Leistung, Funktionalität,
Effizienz und Design.
Damit bietet Sensofar ein branchenführendes
Flächenmesssystem.

Topography in a quality process

Schneller als jemals zuvor

Alles geht schneller, dank neuer, intelligenter Algorithmen und einer neuen Kamera. Die Datenerfassung erfolgt mit 180 fps. Die Standard-Messwerterfassung ist 5 mal schneller als bisher. Damit ist S neox das schnellste Flächenmesssystem am Markt.

Benutzerfreundlich

Wir bei Sensofar arbeiten beständig daran, unseren Kunden ein unglaubliches Benutzererlebnis zu bieten. Das S neox System der fünften Generation wurde für noch mehr Benutzerfreundlichkeit, intuitivere Handhabung und ein höheres Arbeitstempo geschaffen. Selbst der Erstnutzer bedient das System mit einem Klick. Softwaremodule, mit denen das System auf die Benutzeranforderungen eingestellt wird, machen es möglich.

Example of an acquisition

Vielseitiges System

Qualitätskontrolle

Qualitätskontrolle

QC-Verfahren werden durch neue
automatische Module unterstützt. Sie dienen zur
Steuerung der Zugriffsrechte, enthalten Rezepte,
gewährleisten die Kompatibilität mit Barcode/QR-Lesegeräten und bieten die passenden Plugins zur Erstellung von Pass/Fail-Berichten
unter Einsatz unserer eigenentwickelten
SensoPRO Software. Unsere optimierten Lösungen lassen sich dank ihrer Flexibilität und benutzerfreundlichen Oberfläche in QC-Umgebungen einsetzen und so programmieren, dass rund um die
Uhr gearbeitet werden kann.
Das Messen der Oberflächenbeschaffenheit war
noch nie so einfach.

Forschung und Entwicklung

Forschung und Entwicklung

Dank der 3-in-1-Technologie von Sensofar genügt ein
einziger Klick in SensoSCAN, um die am besten geeignete
Technik für die jeweilige Aufgabe auszuwählen.

Der Sensorkopf von S neox verfügt über die
Betriebsarten Konfokal, Interferometrie und
Ai-Fokusvariation, ein entscheidender Beitrag
zur Vielseitigkeit des Systems, der unerwünschte
Kompromisse bei der Datenerfassung
minimiert.

Das Oberflächenprofilometer S neox
eignet sich für alle Laborumgebungen
ohne Einschränkungen.

Qualitätskontrolle

Qualitätskontrolle

QC-Verfahren werden durch neue
automatische Module unterstützt. Sie dienen zur
Steuerung der Zugriffsrechte, enthalten Rezepte,
gewährleisten die Kompatibilität mit Barcode/QR-Lesegeräten und
bieten die passenden Plugins zur Erstellung von Pass/Fail-Berichten
unter Einsatz unserer eigenentwickelten
SensoPRO Software. Unsere optimierten Lösungen lassen sich
dank ihrer Flexibilität und benutzerfreundlichen Oberfläche
in QC-Umgebungen einsetzen und so programmieren,
dass rund um die Uhr gearbeitet werden kann.
Das Messen der Oberflächenbeschaffenheit war noch nie so einfach.

Forschung und Entwicklung

Forschung und Entwicklung

Dank der 3-in-1-Technologie von Sensofar genügt ein
einziger Klick in SensoSCAN, um die am besten geeignete
Technik für die jeweilige Aufgabe auszuwählen. Der
Sensorkopf von S neox verfügt über die
Betriebsarten Konfokal, Interferometrie und
Ai-Fokusvariation, ein entscheidender Beitrag
zur Vielseitigkeit des Systems, der unerwünschte
Kompromisse bei der Datenerfassung
minimiert. Das Oberflächenprofilometer S neox
eignet sich für alle Laborumgebungen
ohne Einschränkungen.

3-in-1-Technologien

icon_FocusVariation_rgb_80x80

Ai-FokusvariationNEW!

Bei der aktiv beleuchteten Fokusvariation werden entweder Optiken (mit sehr niedriger Tiefenschärfe) oder die Probe vertikal gescannt, um eine fortlaufende Reihe von Bildern der Oberfläche zu erhalten. Ein Algorithmus bestimmt, welche Punkte in jedem einzelnen Bild scharf sind, und es wird mit Hilfe aller scharfen Punkte aller Bilder ein Gesamtbild erzeugt. Die aktive Beleuchtung sorgt für die verlässlichere Platzierung des Fokus, sogar auf optische glatten Oberflächen.

icon_Confocal_rgb_80x80

Konfokal

Beim bildgebenden Verfahren der Konfokalmikroskopie wird eine Apertur in der Konfokalebene des Objektivs verwendet. Licht aus nicht scharfen Bereichen wird auf diese Weise am Eindringen in das Abbildungssystem gehindert und es wird nur die Fokusebene der Probe erfasst. Durch mechanisches oder digitales Scannen der Apertur können 2D-Profile und 3D-Oberflächenbilder aufgenommen werden.

icon_Interferometry_rgb_80x80

Interferometrie

Die optische Interferometrie bedient sich des optischen Wegunterschieds zwischen dem an den beiden Interferometerarmen (Referenz und Probe) reflektierten Licht, um ein räumliches Interferenzmuster (Interferogramm) zu erzeugen, das Informationen zur Oberflächentopologie der Probe enthält. Für bestimmte Anwendungen können verschiedene Varianten dieser Technologie verwendet werden.

Dünnschicht

Die Dünnschichtmessung dient zur Ermittlung der Dicke optisch transparenter Schichten: Die Methode ermöglicht rasche, präzise und zerstörungsfreie Messungen ohne Probenvorbereitung. Das Profilometer erfasst das Reflexionsspektrum der Probe im sichtbaren Bereich. Die Werte werden mit von der Software berechneten Spektren verglichen, wobei die Schichtdicke so lange geändert wird, bis die beste Anpassung ermittelt ist. Die Messung transparenter Schichten von 50 nm bis zu 1,5 μm erfolgt in weniger als 1 Sekunde. Die Größe des Messpunktes ist von der Objektivvergrößerung abhängig, diese kann zwischen 0,5 μm und bis zu 40 μm liegen.

Hohe Auflösung

Die vertikale Auflösung wird im Allgemeinen durch das Geräterauschen beschränkt. Während dieses für die Interferometrie fest ist, ist dies beim Konfokalbetrieb von der numerischen Apertur abhängig. Die von Sensofar entwickelten Algorithmen sorgen bei jeder Messtechnik für ein Systemrauschen im Nanometerbereich und die für ein optisches Instrument höchstmögliche laterale Auflösung.
Die gezeigte Topographie ist eine Atomschicht im Sub-Nanometer-Bereich (0,3 nm). Mit freundlicher Genehmigung von PTB.

S neox
dic-observation_topo2

DIC-Darstellung

Der Differentielle Interferenzkontrast (DIC) wird zur Hervorhebung besonders kleiner Höhenmerkmale verwendet, die bei herkömmlichen Darstellungen keine Kontraste ergeben. Mit einem Nomarski-Prisma, wird ein interferentielles Bild erzeugt, das Strukturen im Sub-Nanometer-Bereich auflöst, die in Hellfeld- oder Konfokalbildern nicht sichtbar sind.

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