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Sensofar分光反射率測定

分光反射率測定は、薄膜を素早く、正確かつ非破壊的に測定し、サンプル準備は不要です。

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Sensofar 分光 反射率測定

分光反射率測定は、薄膜を素早く、正確かつ非破壊的に測定し、サンプル準備は不要です。

背景

薄膜

表面に透明の層が載っているとき、その反射率が変化します。このシステムは、サンプルの可視範囲の反射スペクトルを取得し、ソフトウェアの計算によるスペクトルシミュレーションと比較して、最適な層厚に修正します。薄膜の厚さは光の波長と類似するため、分光スペクトルに沿って反射率の波形が形成されます。

Background SR Thin Film
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主な特長

50 nm~1.5 μmの透明膜を5以内に測定可能

  50 nm~1.5 μmの透明膜

  5秒以内に測定可能

  1つの対象で全範囲をカバー

  幅広いスポットサイズ(3.5 μm~40 μm) 

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SRシステム

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