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Lichtquelle

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

580nm

Abmessungen

S lynx 2 specifications - Dimensions, options & accessories

Objektiv-Spezifikationen

Hellfeld
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90
WD (mm) 20.0 15.8 3.0 1.0 1.0
Sehfeld FOV1 (µm) 2826 x 2826 1413 x 1413 707 x 707 283 x 283 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.27 0.14
Optische Auflösung3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16

Konfokal / Ai Fokusvariation

Systemrauschen4 (nm) 115 30 8 4 3
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
Systemrauschen4 (nm) 115 30 8 4 3
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED.   4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

Interferometrisch
MAG 2.5X TI 5X MC 10X MC 10X MR 20X MC 20X MR 50X MR 100X MR
NA 0.075 0.14 0.10 0.28 0.10 0.38 0.50 0.70
WD (mm) 10.3 13.0 25.0 8.0 16.7 6.0 3.6 2.0
Sehfeld FOV1 (µm) 5652 x 5652 2826 x 2826 1413 x 1413 1413 x 1413 707 x 707 707 x 707 283 x 283 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 5.52 2.76 1.38 1.38 0.69 0.69 0.27 0.13
Optische Auflösung3 (µm) 2.34 1.25 1.75 0.63 1.75 0.46 0.35 0.25
Systemrauschen4 (nm) CSI <1 nm        ePSI   <0.1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 8 6 16 6 22 30 44
MAG 2.5X TI 5X MC 10X MC 10X MR 20X MC 20X MR 50X MR 100X MR
Systemrauschen4 (nm) CSI <1 nm        ePSI   <0.1 nm
Maximaler Flankenwinke5 (º) 4 8 6 16 6 22 30 44

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED.   4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

XYZ-Spezifikationen

XY
XY Motorisiert
Verfahrweg (mm) 125 x 75
Z
Z Lineare z-Achse
Vertikaler Messbereich 20 mm
Auflösung 5 nm

Präzision und Wiederholbarkeit

Norm Wert Unsicherheit (U) Wiederholbarkeit (σ) Technologie
Stufenhöhe (H) <10 µm U= (0.005 + H/50) μm <10 nm Konfokal, AiFV und CSI
>10 µm U = (0.120 + H/120) μm >10 nm Konfokal, AiFV und CSI
Flächenrauheit (Sa) 0.79 µm 40 nm 6 nm Konfokal, AiFV und CSI

Werte, die in einer VC-E-Schwingungsumgebung ermittelt wurden. Objektiv für konfokale und Ai-Fokusvariation 50X 0,80 NA und für CSI 50X 0,50NA. Auflösung 1024×1024 Pixel. Erweiterte Unsicherheit (U) nach ISO/IEC-Leitfaden 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (Konfidenzniveau 95%). σ nach 25 Messungen.

Computer und Betriebssystem

S lynx 2 - PC flexibility
Computer Intel® Core™ i5/i7 Prozessor-Ethernet-Konnektivität,
mindestens 1920 x 1080 Bildschirmauflösung
Betriebssystem Microsoft Windows 10 oder höher
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