Technologien
Konfokal
Interferometrisch
WLI
WLI
Fokusvariation
Lichtquelle
550 nm
Abmessungen
Objektiv-Spezifikationen
| MAG | 2,5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0,075 | 0,15 | 0,30 | 0,45 | 0,80 | 0,90 | 0,95 |
| WD (mm) | 6,5 | 23,5 | 17,5 | 4,5 | 1,0 | 1,0 | 0,2 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 7016 x 5280 | 3508 x 2640 | 1754 x 1320 | 877 x 660 | 351 x 264 | 175 x 132 | 117 x 88 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 5,16 | 2,58 | 1,29 | 0,65 | 0,26 | 0,13 | 0,09 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 2,23 | 1,11 | 0,55 | 0,37 | 0,21 | 0,18 | 0,17 |
| Messzeit4 (s) | >3 | ||||||
Konfokal
| Vertikale Auflösung5 (nm) | – | 75 | 25 | 8 | 3 | 2 | 1 |
| Maximaler Flankenwinkel6 (º) | – | 8 | 14 | 21 | 42 | 51 | 71 |
Fokusvariation
| Min. messbare Rauheit | Sa > 10 nm |
| Maximaler Flankenwinkel | bis 86º |
Andere Objektive auf Anfrage (Konfokal/Fokusvariation):
Wasserimmersion | Super langer Arbeitsabstand | Extra langer Arbeitsabstand | Kragenfokuskorrektur
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. Bei interferometrischen Objektiven kann die räumliche Auflösung die optische Auflösung begrenzen. 4 Für Hellfeld-Objektive, 21 Scanebenen (konfokal). 5 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 6 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen.
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0,13 | 0,30 | 0,40 | 0,55 | 0,70 |
| WD (mm) | 9,3 | 7,4 | 4,7 | 3,4 | 2,0 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3508 x 2640 | 1754 x 1320 | 877 x 660 | 351 x 264 | 175 x 132 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 2,58 | 1,29 | 0,65 | 0,26 | 0,13 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 2,58 | 1,29 | 0,65 | 0,25 | 0,20 |
| Messzeit4 (s) | >3 | ||||
WLI
| Vertikale Auflösung5 (nm) | 1 | ||||
| Maximaler Flankenwinkel6 (º) | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 |
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. Bei interferometrischen Objektiven kann die räumliche Auflösung die optische Auflösung begrenzen. 4 Für interferometrische Objektive 10 μm Scanreichweite. 5 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 6 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen.
Tisch-Spezifikationen
| Z | LINEARE SKALA |
| Vertikaler Messbereich | 40 mm |
| Linearität | <0,5 µm/mm |
| Auflösung | 2 nm |
Computer und Betriebssystem
| Computer | HP Z230SSF Bildschirm HP27i 2560×1440 px |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10, 64-Bit |
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