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Abmessungen

mm (Zoll)
Gewicht: 5.5 Kg  (12.1 lbs)

S mart sensor dimensions

Lichtquellen

icon_WhiteLight

550 nm

Objektivlinsen

Hellfeld
Vergrößerung 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2
Sichtfeld (FOV)1 (µm) 6800 x 5675 3400 x 2837 1700 x 1420 850 x 710 340 x 284 170 x 142 113 x 95
Räumliche Abtastung2 (µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14 0.09
Optische Auflösung3 (µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17
Systemrauschen (nm)4 300 75 25 8 3 2 1
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 3 8 14 21 42 51 71

Other objectives available:  Water Immersion | Super Long Working Distance | Extra Long Working Distance | Collar Ring Depth Focusing Correction

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.

Interferometrie
Vergrößerung 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
Sichtfeld 1 (µm) 3400 x 2837 1700 x 1420 850 x 710 340 x 284 170 x 142
Räumliche Abtastung 2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14
Optische Auflösung 3 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.30 0.24
Systemrauschen4 (nm) 1
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 3 8 14 21 42

Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3″-Kamera und 0,5X-Optik.  2 Pixelgröße auf der Oberfläche.  3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Bei interferometri-schen Objektiven kann die räumliche Auflösung die optische Auflösung begrenzen. Werte für weiße LED.  4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführ-ter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. In VC-E Vibrationsumgebung erzielte Werte.  5 Auf glatten Oberflächen. Bis 86° auf rauen Oberflächen. Andere Objektive auf Anfrage.

Z-Performance

Z LINEARE SKALA
Vertikaler Messbereich 40 mm (1.6″)
Linearität <0.5 µm/mm
Auflösung 2 nm

Wiederholbarkeit

Stufenhöhe Wiederholbarkeit <3 nm
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