尺寸
mm (英寸)
重量 5.3 Kg (11.7 lbs)
光源
550 nm
物镜性能
Brightfield
| 放大倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 数值孔径 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
| 工作距离 (mm) | 20 | 15.8 | 3.0 | 1.0 | 1.0 |
| 视场大小1 (µm) | 2826 x 2826 | 1413 x 1413 | 707 x 707 | 283 x 283 | 141 x 141 |
| 像素分辨率2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.27 | 0.14 |
| 光学分辨率3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 |
| 系统噪声4 (nm) | 120 | 45 | 10 | 4 | 3 |
| 最大斜率5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 |
1 使用 2/3 英寸相机和 0.25 倍光学镜头时的最大视场。 2 表面像素大小。 3 L&S：线和空间，根据瑞利标准为衍射极限的一半。蓝光 LED 的数值。 4 数值是通过在受控环境条件下、依据 Sensofar 的计量协议，对参考标准进行重复测量而评估的。 5 在光滑表面上。在粗糙表面上可达 72°。可提供其他物镜。
Interferometry
| 放大倍率 | 2.5X TI | 5X MC | 10X MC | 10X MR | 20X MC | 20X MR | 50X MR | 100X MR |
| 数值孔径 | 0.075 | 0.14 | 0.10 | 0.28 | 0.10 | 0.38 | 0.50 | 0.70 |
| 工作距离 (mm) | 10.3 | 13.0 | 25.0 | 8.0 | 16.7 | 6.0 | 3.6 | 2.0 |
| 视场大小1 (µm) | 5652 x 5652 | 2826 x 2826 | 1413 x 1413 | 1413 x 1413 | 707 x 707 | 707 x 707 | 283 x 283 | 141 x 141 |
| 像素分辨率2 (µm) | 5.52 | 2.76 | 1.38 | 1.38 | 0.69 | 0.69 | 0.27 | 0.13 |
| 光学分辨率3 (µm) | 2.34 | 1.25 | 1.75 | 0.63 | 1.75 | 0.46 | 0.35 | 0.25 |
| 系统噪声4 (nm) | CSI <1 nm ePSI <0.1 nm | |||||||
| 最大斜率5 (º) | 4 | 8 | 6 | 16 | 6 | 22 | 30 | 44 |
1 使用 2/3 英寸相机和 0.25 倍光学镜头时的最大视场。 2 表面像素大小。 3 L&S：线和空间，根据瑞利标准为衍射极限的一半。白光 LED 的数值。 4 数值是通过在受控环境条件下、依据 Sensofar 的计量协议，对参考标准进行重复测量而评估的。 5 在光滑表面上。
Z轴性能
| Z | LINEAR STAGE |
| Vertical range | 20 mm (0.79″) |
| Resolution | 5 nm |
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