尺寸
mm (英寸)
重量 5.5 kg (12.1 lbs)
光源
550 nm
物镜性能
明场
| 放大倍数 | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 数值孔径 | 0.075 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| 工作距离 (mm) | 6.5 | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.2 |
| 视场范围1 (µm) | 6800 x 5675 | 3400 x 2837 | 1700 x 1420 | 850 x 710 | 340 x 284 | 170 x 142 | 113 x 95 |
| 像素分辨率2 (µm) | 5.52 | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.28 | 0.14 | 0.09 |
| 光学分辨率3 (µm) | 2.23 | 1.11 | 0.55 | 0.37 | 0.21 | 0.18 | 0.17 |
Confocal
| 系统噪声 4 (nm) | 300 | 75 | 25 | 8 | 3 | 2 | 1 |
| 最大斜率5 (º) | 3 | 8 | 14 | 21 | 42 | 51 | 71 |
Focus Variation
| 最小可测粗糙度 | Sa > 10 nm |
| 最大斜率 (º) | 86º |
其他可兼容物镜: 水浸物镜 | 超长工作距离物镜 | 特长工作距离物镜 | 带校正环物镜
1 采用2/3” 相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2 表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值，根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。在 VC-E 振动环境下获得的数值。 5 在平滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达 86°。
干涉
| 放大倍数 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 数值孔径 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| 工作距离 (mm) | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| 视场范围1 (µm) | 3400 x 2837 | 1700 x 1420 | 850 x 710 | 340 x 284 | 170 x 142 |
| 像素分辨率2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.28 | 0.14 |
| 光学分辨率3 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.30 | 0.24 |
CSI
| 系统噪声4 (nm) | 1 | ||||
| 最大斜率5 (º) | 3 | 8 | 14 | 21 | 42 |
其他可兼容物镜: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik
1 采用2/3” 相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2 表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值，根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。在 VC-E 振动环境下获得的数值。 5 在平滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达 86°。。
Z轴性能
| Z | 线性导轨 |
| 行程 | 40 mm (1.6″) |
| 线性度 | <0.5 µm/mm |
| 精度 | 2 nm |
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