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测量原理

3D optical metrology techniques

增强型光学测量技术

虽然一开始作为高性能 3D 光学轮廓仪设计,但是我们的某些系统胜过所有现有的光学轮廓仪,集所有技术于一身。

条纹投影
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条纹投影非常适合大面积测量,垂直精度和可重复性高,系统噪声低。

Fringe Projection measurement of a Tablet, high vertical accuracy
fringe_projection_tech

条纹投影非常适合大面积测量,垂直
精度和可重复性高,
系统噪声低。

AI 多焦面叠加
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Ai 多焦面叠加经过开发和完善,可测量粗糙大表面的形状。高斜率表面的最佳选择。

Active Illumination Focus Variation example
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Ai 多焦面叠加经过开发
和完善,可测量粗糙大表面的
形状。高斜率表面的
最佳选择。

Active Illumination Focus Variation example
共聚焦
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共聚焦轮廓仪测量表面高度,从光滑表面到非常粗糙的表面均能胜任,使它们成为关键尺寸测量的理想之选。

Confocal texture
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共聚焦轮廓仪测量表面
高度,从光滑表面到非常粗糙的
表面均能胜任,使它们成为关键
尺寸测量的理想之选。

干涉
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干涉技术可用于特定应用,从光滑的连续表面到中等粗糙的表面均可测量。

Interferometry exmple
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干涉技术可用于
特定应用,
从光滑的连续
表面到中等
粗糙的表面均可测量。

Interferometry exmple
光谱反射
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对于透明层样本,光谱反射是以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的关键。

SR
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对于透明层样本,
光谱反射是
以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的
关键。

产品阵容

技术组合

我们的系统采用不同光学测量技术进行工作,一部分系统采用组合技术。聚集这些技术的优点,外加最新技术和操作软件,成就市场上最具竞争力的高级测量设备。

S wide technologies
S neox technologies
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2
S wide technologies
S neox technologies
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2

为何使用四合一技术?

4-in-1 optical metrology techniques graph

采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到最适合当前任务的技术。S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此,每种技术都是实现系统通用性的重要因素,有利于最大程度上减少数据采集时不希望发生的缺陷,同时提供 Sensofar 的一流表面测量性能。

专利技术

微显示是关键!

Sensofar 的系统采用专利微显示扫描技术。微显示以硅基铁电体液晶 (FLCoS) 技术为基础,打造没有运动零件的快速切换装置,使共聚焦图像扫描快速、可靠、精确。微显示器结合高分辨率扫描台和可更换物镜,构成了一套灵活的光学系统。

3D optical metrology techniques Microdisplay Image

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不要错过大师班!

市场上大部分测量设备采用的最普遍的光学测量技术(共聚焦、干涉、多焦面叠加和光谱反射),可让用户获得他们在表面计量工作中需要的测量值。