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Abmessungen

mm (Zoll)
Gewicht: 10.1 Kg  (22.2 lbs)

S neox sensor dimensions

Technologien

Lichtquellen

icon_RedLight

630 nm

icon_GreenLight

530 nm

icon_BlueLight

460 nm

icon_WhiteLight

575 nm

Objektivlinsen

Hellfeld
Vergrößerung 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 1.5
Sichtfeld (FOV)1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
Räumliche Abtastung2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
Optische Auflösung3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.16
Systemrauschen4 (nm) 100 30 8 4 3 2
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64 64

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.

 

Interferometrie
Vergrößerung 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
Sichtfeld (FOV)1 (µm) 6756 x 5652 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
Optische Auflösung3 (µm) 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20
Systemrauschen4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 7 17 24 33 44

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0,01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung.   5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.

Z-Performance

Z GROB (Lineare Stufe) FEIN (Piezoelektrischer Scanner mit kapazitivem Sensor)
Vertikaler Messbereich 40 mm 200 µm
Auflösung 5 nm 1.25 nm

Präzision und Wiederholbarkeit

Standard Wert U, σ Technik
Stufenhöhe 48600 nm U=300 nm, σ= 10 nm Konfokal und CSI
7616 nm U=79 nm, σ= 5 nm Konfokal und CSI
941.6 nm
U=7 nm, σ= 1 nm Konfokal und CSI
186 nm U=4 nm, σ= 0.4 nm Konfokal und CSI
44.3 nm U=0.5 nm, σ= 0.1 nm PSI
10.8 nm U=0.5 nm, σ= 0.05 nm PSI
Flächenrauheit (Sa)7 0.79 µm U=0.04 µm, σ=0.0005 µm Konfokal, AiFV und CSI
Profilrauheit (Ra)8 2.40 µm U=0.03 µm, σ= 0.002 µm Konfokal, AiFV und CSI
0.88 µm U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm Konfokal, AiFV und CSI
0.23 µm U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm Konfokal, AiFV und CSI

Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N.
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
7 Bereich 1x1mm.   8 Profillänge 4 mm.

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