Technologien
Konfokal
Interferometrie
PSI | ePSI | CSI
Ai-Fokusvariation
Lichtquellen
630 nm
530 nm
460 nm
575 nm
Abmessungen
mm (Zoll)
*Gewicht:
77 Kg (170 lbs)
Basis und Säule
Steuerung
* Höhenverstellbares Mikroskopstativ mit 154mmx154mm (6“x6“) motorisierten Kreuztischt
Objektivlinsen-Leistung
| MAG | 5X BF | 10X BF | 20X BF | 50X BF | 100X BF | 150X EPI |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| WD (mm) | 23.50 | 17.50 | 4.50 | 1.00 | 1.00 | 1.50 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
Konfokal/Ai-Fokusvariation
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X BF | 10X BF | 20X BF | 50X BF | 100X BF | 150X EPI |
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
| MAG | 5X MC | 10X MC | 10X MR | 20X MC | 20X MR | 50X MR | 100X MR |
| NA | 0.14 | 0.10 | 0.28 | 0.10 | 0.38 | 0.50 | 0.70 |
| WD (mm) | 13.00 | 25.00 | 8.00 | 16.70 | 6.00 | 3.60 | 2.00 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.69 | 0.34 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 1.00 | 1.40 | 0.50 | 1.40 | 0.37 | 0.28 | 0.20 |
PSI / ePSI / CSI
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | ||||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 8 | 6 | 16 | 6 | 22 | 30 | 44 |
| MAG | 2.5X TI | 5X MC | 10X MC | 10X MR | 20X MC | 20X MR | 50X MR | 100X MR |
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 8 | 6 | 16 | 6 | 22 | 30 | 44 | |
Andere Objektive auf Anfrage: Variable Reflexion | Michelson | Mirau | Linnik
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0.01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung.
5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
Präzision und Wiederholbarkeit
| Standard | Wert | U, σ | Technik |
| Stufenhöhe | 48600 nm | U=300 nm, σ= 10 nm | Konfokal und CSI |
| 7616 nm | U=79 nm, σ= 5 nm | Konfokal und CSI | |
| 941.6 nm |
U=7 nm, σ= 1 nm | Konfokal und CSI | |
| 186 nm | U=4 nm, σ= 0.4 nm | Konfokal und CSI | |
| 44.3 nm | U=0.5 nm, σ= 0.1 nm | PSI | |
| 10.8 nm | U=0.5 nm, σ= 0.05 nm | PSI | |
| Flächenrauheit (Sa)6 | 0.79 µm | U=0.04 µm, σ=0.0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| Profilrauheit (Ra)7 | 2.40 µm | U=0.03 µm, σ=0.002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| 0.88 µm | U=0.015 µm, σ=0.0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI | |
| 0.23 µm | U=0.005 µm, σ=0.0002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N.
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1.96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
6 Bereich 1x1mm. 7 Profillänge 4 mm.
Rotationstisch
| Max. messbarer Durchmesser | 200 mm |
| Max. Einspanndurchmesser8 | 20 mm |
| Max. Werkstückgewicht | 3 kg |
| Genauigkeit (A) | 5 Bogensekunden/° |
| Bidirektionale Wiederholbarkeit (A) | 10 Bogensekunden |
| Auflösung (B) | 0.5 Bogensekunden |
| Geradheitsfehler9 | 3.6 μm/40 mm |
| Parallelitätsfehler9 | 53.9 μm/40 mm |
| Ebenheitsfehler10 | 20 µm |
Alle Werte gemäß ISO1101 bei 20 ºC +/- 1º in vibrationsfreier Umgebung.
8 ER32-Spannzangenhalter. 9 St Ebenheitsabweichung gemäß ISO25178-2, aufgenommen an einem SiC-Referenzflachspiegel mit 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus. 10 Alle Werte mit einem 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus und einer Auswertungslänge von 40 mm erfasst.
Computer und Betriebssystem
| Computer | Intel® Core™ i7 Prozessor 8. Generation Bildschirmauflösung 3840×2160 Pixel (4K) (27″) |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10, 64-Bit |
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