Technologien
Konfokal
Interferometrie
PSI | ePSI | CSI
Ai-Fokusvariation
Lichtquellen
630 nm
530 nm
460 nm
575 nm
Abmessungen
Basis und Säule
Steuerung
Objektivlinsen-Leistung
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0,15 | 0,30 | 0,45 | 0,80 | 0,90 | 0,90 |
| WD (mm) | 23,5 | 17,5 | 4,5 | 1,0 | 1,0 | 1,5 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1,38 | 0,69 | 0,34 | 0,13 | 0,07 | 0,05 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 0,94 | 0,47 | 0,31 | 0,18 | 0,16 | 0,16 |
Konfokal/Ai-Fokusvariation
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
| MAG | 2,5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0,075 | 0,13 | 0,30 | 0,40 | 0,55 | 0,70 |
| WD (mm) | 10,3 | 9,3 | 7,4 | 4,7 | 3,4 | 2,0 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 2,76 | 1,38 | 0,69 | 0,34 | 0,13 | 0,07 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 1,87 | 1,08 | 0,47 | 0,35 | 0,26 | 0,20 |
PSI / ePSI / CSI
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0,1 nm (0,01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
| MAG | 2,5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0,1 nm (0,01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
Andere Objektive auf Anfrage: Variable Reflexion | Michelson | Mirau | Linnik
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0,01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung.
5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
Präzision und Wiederholbarkeit
| Standard | Wert | U, σ | Technik |
| Stufenhöhe | 48600 nm | U=300 nm, σ= 10 nm | Konfokal und CSI |
| 7616 nm | U=79 nm, σ= 5 nm | Konfokal und CSI | |
| 941,6 nm | U=7 nm, σ= 1 nm | Konfokal und CSI | |
| 186 nm | U=4 nm, σ= 0,4 nm | Konfokal und CSI | |
| 44,3 nm | U=0,5 nm, σ= 0,1 nm | PSI | |
| 10,8 nm | U=0,5 nm, σ= 0,05 nm | PSI | |
| Flächenrauheit (Sa)7 | 0,79 µm | U=0,04 µm, σ=0,0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| Profilrauheit (Ra)8 | 2,40 µm | U=0,03 µm, σ=0,002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| 0,88 µm | U=0,015 µm, σ=0,0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI | |
| 0,23 µm | U=0,005 µm, σ=0,0002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N.
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
7 Bereich 1x1mm. 8 Profillänge 4 mm.
Rotationstisch
| Max. messbarer Durchmesser | 200 mm |
| Max. Einspanndurchmesser10 | 20 mm |
| Max. Werkstückgewicht | 3 kg |
| Genauigkeit (A) | 5 Bogensekunden/° |
| Bidirektionale Wiederholbarkeit (A) | 10 Bogensekunden |
| Auflösung (B) | 0,5 Bogensekunden |
| Geradheitsfehler11 | 3,6 μm/40 mm |
| Parallelitätsfehler11 | 53,9 μm/40 mm |
| Ebenheitsfehler12 | 20 µm |
Alle Werte gemäß ISO1101 bei 20 ºC +/- 1º in vibrationsfreier Umgebung.
10 ER32-Spannzangenhalter. 11 St Ebenheitsabweichung gemäß ISO25178-2, aufgenommen an einem SiC-Referenzflachspiegel mit 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus. 12 Alle Werte mit einem 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus und einer Auswertungslänge von 40 mm erfasst.
Computer und Betriebssystem
| Computer | Intel® Core™ i7 Prozessor 8. Generation Bildschirmauflösung 3840×2160 Pixel (4K) (27″) |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10, 64-Bit |
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