Technologien
Konfokal
Interferometrie
PSI | ePSI | CSI
Ai-Fokusvariation
Lichtquellen
630 nm
530 nm
460 nm
575 nm
Abmessungen
Basis und Säule
Steuerung
Objektivlinsen-Leistung
| MAG | 5X BF | 10X BF | 20X BF | 50X BF | 100X BF | 150X EPI |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| WD (mm) | 23.50 | 17.50 | 4.50 | 1.00 | 1.00 | 1.50 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
Konfokal/Ai-Fokusvariation
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X BF | 10X BF | 20X BF | 50X BF | 100X BF | 150X EPI |
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
| MAG | 5X MC | 10X MC | 10X MR | 20X MC | 20X MR | 50X MR | 100X MR |
| NA | 0.14 | 0.10 | 0.28 | 0.10 | 0.38 | 0.50 | 0.70 |
| WD (mm) | 13.00 | 25.00 | 8.00 | 16.70 | 6.00 | 3.60 | 2.00 |
| Sichtfeld (FOV)1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.69 | 0.34 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 1.00 | 1.40 | 0.50 | 1.40 | 0.37 | 0.28 | 0.20 |
PSI / ePSI / CSI
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | ||||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 8 | 6 | 16 | 6 | 22 | 30 | 44 |
| MAG | 2.5X TI | 5X MC | 10X MC | 10X MR | 20X MC | 20X MR | 50X MR | 100X MR |
| Systemrauschen4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||||
| Maximaler Flankenwinkel5 (º) | 8 | 6 | 16 | 6 | 22 | 30 | 44 | |
Andere Objektive auf Anfrage: Variable Reflexion | Michelson | Mirau | Linnik
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0.01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung.
5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
Präzision und Wiederholbarkeit
| Standard | Wert | U, σ | Technik |
| Stufenhöhe | 48600 nm | U=300 nm, σ= 10 nm | Konfokal und CSI |
| 7616 nm | U=79 nm, σ= 5 nm | Konfokal und CSI | |
| 941.6 nm |
U=7 nm, σ= 1 nm | Konfokal und CSI | |
| 186 nm | U=4 nm, σ= 0.4 nm | Konfokal und CSI | |
| 44.3 nm | U=0.5 nm, σ= 0.1 nm | PSI | |
| 10.8 nm | U=0.5 nm, σ= 0.05 nm | PSI | |
| Flächenrauheit (Sa)7 | 0.79 µm | U=0.04 µm, σ=0.0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| Profilrauheit (Ra)8 | 2.40 µm | U=0.03 µm, σ=0.002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
| 0.88 µm | U=0.015 µm, σ=0.0005 µm | Konfokal, AiFV und CSI | |
| 0.23 µm | U=0.005 µm, σ=0.0002 µm | Konfokal, AiFV und CSI |
Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N.
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1.96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
7 Bereich 1x1mm. 8 Profillänge 4 mm.
Rotationstisch
| Max. messbarer Durchmesser | 200 mm |
| Max. Einspanndurchmesser10 | 20 mm |
| Max. Werkstückgewicht | 3 kg |
| Genauigkeit (A) | 5 Bogensekunden/° |
| Bidirektionale Wiederholbarkeit (A) | 10 Bogensekunden |
| Auflösung (B) | 0.5 Bogensekunden |
| Geradheitsfehler11 | 3.6 μm/40 mm |
| Parallelitätsfehler11 | 53.9 μm/40 mm |
| Ebenheitsfehler12 | 20 µm |
Alle Werte gemäß ISO1101 bei 20 ºC +/- 1º in vibrationsfreier Umgebung.
10 ER32-Spannzangenhalter. 11 St Ebenheitsabweichung gemäß ISO25178-2, aufgenommen an einem SiC-Referenzflachspiegel mit 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus. 12 Alle Werte mit einem 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus und einer Auswertungslänge von 40 mm erfasst.
Computer und Betriebssystem
| Computer | Intel® Core™ i7 Prozessor 8. Generation Bildschirmauflösung 3840×2160 Pixel (4K) (27″) |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10, 64-Bit |
Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen!
Nehmen Sie Kontakt mit einem Experten auf
Nehmen Sie Kontakt mit einem Experten auf
Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
nach einem direkten Ansprechpartner in Ihrer Nähe.
nach einem direkten Ansprechpartner in Ihrer Nähe.
Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen!
Nehmen Sie Kontakt mit einem Experten auf
Nehmen Sie Kontakt mit einem Experten auf
Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
nach einem direkten Ansprechpartner in Ihrer Nähe.
nach einem direkten Ansprechpartner in Ihrer Nähe.
