3D 表面测量技术的应用

非接触式 3D 表面测量技术

3D表面测量技术描述了在天然或加工表面上,微米和纳米尺度特征的测量和表征。通过使用非破坏性光学技术,捕获表面上点的 3D 空间坐标,可以非常有效地实现这一点。

与接触式(基于触针)方法相比,光学测量系统具有一些重大优势。首先,测量是非接触式的,因此不会损坏待测物体。光学技术可以穿过透明介质进行测量。它们快速而灵活,同样可以产生 3D(面层)结果。最后(但并非最不重要),绝对测量性能取决于波长和数值孔径,不受触针尖端物理尺寸的限制。

最常见的光学技术是共聚焦、干涉和多焦面叠加。其中每种技术都有自己的一组特定优缺点. 因此,为了向用户提供 3D 表面测量的最大通用性,适应各种不同的尺度和结构类型,Sensofar 测量技术的高端光学轮廓仪系统独特地将三种最常见的光学技术集成到单个传感器头中.

虽然仍然分散,但此应用领域已取得快速增长,这部分源于对接触式方法市场份额的截获,接触式方法本质缓慢且“仅限 2D”。然而,一个越来越突出的主因是光学方法的“使能器”方面 – 即,以前根本不可能实现的表面测量。

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