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Sensofar 共聚焦

共聚焦轮廓仪专为测量光滑表面到极粗糙表面而开发。共聚焦轮廓提供最高的横向分辨率,最高可达 0.15μm 线条和空间,空间采样可减少到 0.01μm,这是关键尺寸测量的理想选择。

背景

共聚焦原理

共聚焦技术能够测量表面高度,将常规图像转换成光学剖面,其中,物镜焦深范围内的那些区域的信号被保留,改善了图像对比度、横向分辨率和系统噪声。

Confocal Image
Confocal Image
Background Confocal

光学方案

对于 3D 成像,必须从相机的所有像素获取数据。这意味着:重新构建共聚焦图像。为此,多狭缝图像偏移一个像素,达到必要的次数,以填充相机。多狭缝每偏移一次,拍一张相机图像,对那一刻照亮的像素应用共聚焦算法。

S neox Confocal Configuration
S neox patented internal configuration

SENSOFAR 专利技术

光学结构中没有运动零件

Sensofar 系统中实施的共聚焦扫描技术是微显示器扫描共聚焦显微镜(根据 ISO 25178 第 607 部分)。微显示器创造了一个没有运动零件的快速切换装置,使得数据采集快速、可靠和准确。由于这一点和相关的算法,Sensofar 的共聚焦技术产生了领先的垂直分辨率。

专属算法

不要现在阻止我! 连续共聚焦

共聚焦测量技术中革命性的一步,将采集时间稳步减少 3 倍。连续共聚焦模式通过同时扫描面内和 Z 轴,避免了经典共聚焦的离散(耗时)面与面采集。对于减少大面积扫描和大 Z 扫描的采集时间至关重要。

Continuous Confocal Algorithm
Banner Webinar Confocal
HDR Confocal

主要特征

共聚焦轮廓提供最高的横向分辨率,最高可达 0.15μm 线条和空间,空间采样可减少到 0.01μm,这是关键尺寸测量的理想选择。高 HA (0.95) 和放大倍率 (150X) 的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面,最高可允许 86°。 

  最佳的横向分辨率 300 nmRayleight准则) 

  斜率高达 70º(光滑表面) 和 86º(粗糙表面) 

  连续共聚焦:速度堪比AiFV 

高重复性,低至 1 nm 的系统噪声

  从 1.5 μm 到数毫米的厚度测量

  最高程度的灵活性

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共聚焦系统

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