技术
共聚焦
干涉
VSI
VSI
多焦面叠加
光源
550nm
尺寸
物镜性能
明场
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0.075 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.95 |
| WD (mm) | 6.5 | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 0.2 |
| FOV1 (µm) | 7016 x 5280 | 3508 x 2640 | 1754 x 1320 | 877 x 660 | 351 x 264 | 175 x 132 | 117 x 88 |
| Spatial sampling2 (µm) | 5.16 | 2.58 | 1.29 | 0.65 | 0.26 | 0.13 | 0.09 |
| Optical resolution3 (µm) | 2.23 | 1.11 | 0.55 | 0.37 | 0.21 | 0.18 | 0.17 |
| Measurement time4 (s) | >3 | ||||||
共聚焦
| Vertical resolution5 (nm) | – | 75 | 25 | 8 | 3 | 2 | 1 |
| Maximum slope6 (º) | – | 8 | 14 | 21 | 42 | 51 | 71 |
多焦面叠加
| Min. measurable roughness | Sa > 10 nm |
| Maximum slope | up to 86º |
其他可选物镜: 水浸物镜、超长工作距离物镜、加长工作距离物镜、焦深调节环物镜
1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X。2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得并用白色LED照明。干涉镜头下，像素分辨率可能制约了光学分辨率。 4 针对共聚焦，扫描21 层。5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。6 光滑表面，斜度高达86º 的粗糙表面。
干涉
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| FOV1 (µm) | 3508 x 2640 | 1754 x 1320 | 877 x 660 | 351 x 264 | 175 x 132 |
| Spatial sampling2 (µm) | 2.58 | 1.29 | 0.65 | 0.26 | 0.13 |
| Optical resolution3 (µm) | 2.58 | 1.29 | 0.65 | 0.25 | 0.20 |
| Measurement time4 (s) | >3 | ||||
VSI
| Vertical resolution5 (nm) | 1 | ||||
| Maximum slope6 (º) | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 |
其他可选物镜: 可变反射率，Michelson、Mirau 及Linnik
1 最大视场系2/3” 摄像头及光学0.5X。2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得并用白色LED照明。干涉镜头下，像素分辨率可能制约了光学分辨率。 4 扫描范围10μm。5 根据比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。用PSI，防震开启，10 个相位平均值。在控温房间，用Piezo支架可实现0.01 nm。6 光滑表面，斜度高达86º 的粗糙表面。
Z 轴性能
| Z | LINEAR SCALE |
| Vertical range | 40 mm (1.6″) |
| Linearity | <0.5 µm/mm |
| Resolution | 2 nm |
计算机和操作系统
| 计算机 | HP Z230SSF Screen HP27i 2560×1440 px |
| 操作系统 | Microsoft Windows 10, 64-位 |
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