应用
众所周知,光学应用是一个具有挑战性的应用:样品非常光滑、平坦,有时是透明的。只有高端轮廓仪才能对其进行成像,并满足该领域的严格要求。我们对透镜和滤光片的经验在于器件粗糙度、微透镜阵列和薄膜厚度的测量。
微透镜
微透镜是光子学和晶圆级光学器件中的关键组件。由于其陡峭的斜率、高曲率以及微米级的高度变化,使得其精确测量具有一定挑战性。Sensofar 的 3D 光学轮廓仪为微透镜提供了完整的计量解决方案,能够实现高分辨率的形貌测量和细致的表面检测。
微透镜是光子学和晶圆级光学器件中的关键组件。由于其陡峭的斜率、高曲率以及微米级的高度变化,使得其精确测量具有一定挑战性。Sensofar 的 3D 光学轮廓仪为微透镜提供了完整的计量解决方案,能够实现高分辨率的形貌测量和细致的表面检测。











