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测量原理

Sensofar technologies

增强型光学测量技术

虽然一开始作为高性能 3D 光学轮廓仪设计,但是我们的某些系统胜过所有现有的光学轮廓仪,集所有技术于一身。

条纹投影
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条纹投影非常适合大面积测量,垂直精度和可重复性高,系统噪声低。

Tablet
fringe_projection_tech

条纹投影非常适合大面积测量,垂直
精度和可重复性高,
系统噪声低。

AI 多焦面叠加
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Ai 多焦面叠加经过开发和完善,可测量粗糙大表面的形状。高斜率表面的最佳选择。

AiFV example
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Ai 多焦面叠加经过开发
和完善,可测量粗糙大表面的
形状。高斜率表面的
最佳选择。

AiFV example
共聚焦
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共聚焦轮廓仪测量表面高度,从光滑表面到非常粗糙的表面均能胜任,使它们成为关键尺寸测量的理想之选。

Confocal texture
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共聚焦轮廓仪测量表面
高度,从光滑表面到非常粗糙的
表面均能胜任,使它们成为关键
尺寸测量的理想之选。

干涉
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干涉技术可用于特定应用,从光滑的连续表面到中等粗糙的表面均可测量。

Interferometry exmple
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干涉技术可用于
特定应用,
从光滑的连续
表面到中等
粗糙的表面均可测量。

Interferometry exmple
光谱反射
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对于透明层样本,光谱反射是以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的关键。

SR
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对于透明层样本,
光谱反射是
以快速、准确、非破坏性方式执行厚度测量的
关键。

产品阵容

技术组合

我们的系统采用不同光学测量技术进行工作,一部分系统采用组合技术。聚集这些技术的优点,外加最新技术和操作软件,成就市场上最具竞争力的高级测量设备。

s-wide2
s-neox2
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2
s-wide2
s-neox2
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2

为何使用四合一技术?

4-in-1 Technologies graph

采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到最适合当前任务的技术。S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此,每种技术都是实现系统通用性的重要因素,有利于最大程度上减少数据采集时不希望发生的缺陷,同时提供 Sensofar 的一流表面测量性能。

专利技术

微显示是关键!

Sensofar 的系统采用专利微显示扫描技术。微显示以硅基铁电体液晶 (FLCoS) 技术为基础,打造没有运动零件的快速切换装置,使共聚焦图像扫描快速、可靠、精确。微显示器结合高分辨率扫描台和可更换物镜,构成了一套灵活的光学系统。

Microdisplay Image

Dont's miss the
MASTERCLASS!
The most popular optical
measurement techniques
(Confocal, Interferometry,
Focus Variation and
Spectroscopic Reflectometry),
found in most of the systems
in the market, enable users to
obtain the measurements
they need in their surface
metrology works.
Watch the webinar WEBINARS
techniques-webinar-610-02

不要错过大师班!

市场上大部分测量设备采用的最普遍的光学测量技术(共聚焦、干涉、多焦面叠加和光谱反射),可让用户获得他们在表面计量工作中需要的测量值。