简洁 . 灵动 . 强劲.

Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度,几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将3种测量方式融于一体,确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统,用户将获得难以置信的直观操作体验。

应用领域

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  • 汽车业
  • 消费电子产品 
  • 能源行业
  • 液晶显示屏
  • 材料学
  • 微电子学
  • 微制造业
  • 微体古生物学
  • 光学器件
  • 机床加工业
  • 半导体行业
  • 手表制造业

三合一技术

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共聚焦技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

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干涉技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

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多焦面叠加技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

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无运动部件

的共聚焦

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70(粗糙表面达86)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

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