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支架

S neox 是一套完整的设备。其设计十分适合快速、无损地评估多种表面的微几何和纳米几何结构。S neox 提供了研发和质量检测实验室的标准配置到复杂的、定制的在线过程控制解决方案所需的灵活性、耐用性和效率,可测量 300×300 mm2 的样品,最大高度可达 350 mm

电动倾斜台

电动倾斜台可以在3秒内自动 调整样品的水平度,使得样 品与物镜保持垂直。它减少 了测量的准备时间,同时还 可以在全自动测量的时候, 对样品的不同区域进行自动 水平调节。电动倾斜调整的 功能对干涉扫描技术特别有 用,当然它也可以用于其他 的测量技术。

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Design

电动鼻轮

电动鼻轮可以同时容纳多达六个物镜,包括明场和干涉物镜。SensoSCAN 软件自动识别物镜的变化,并自动校正任何可能的焦距变化。

电动鼻轮

电动鼻轮可以同时容纳多达六个物镜,包括明场和干涉物镜。SensoSCAN 软件自动识别物镜的变化,并自动校正任何可能的焦距变化。

环形灯

环形灯

环形灯基于LED环,以均匀有效的方式照射样品。它安装在物镜的上方和周围,环形灯为 Ai 多焦面叠加技术提供增强的信号。这确保了焦平面处的适当照明。

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旋转平台

Five Axis旋转平台有高精度电动旋转A轴和360º无限旋转、1弧秒定位重复性、和电动B轴、-30º至110º、0.5弧分定位精度、带限位开关组成。还配备了System3R夹紧系统。

旋转平台

Five Axis旋转平台有高精度电动旋转A轴和360º无限旋转、1弧秒定位重复性、和电动B轴、-30º至110º、0.5弧分定位精度、带限位开关组成。还配备了System3R夹紧系统。

刀片支架

这种刀片支架是一种可选附件,可将切削工具定位在测量需要的精确位置。 它兼容市场上现有的各种刀片型号。

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