スタンド構造
S neox はコンプリート製品で、複数の構
成要素をもつ工業的表面のミクロ/ナノ形
状を素早く非破壊で評価計測します。研究
開発や品質検査ラボ用の標準セットアップ
から、オンラインのプロセス制御用の洗練
されたカスタムソリューションまで、高い柔
軟性、耐久性、効率を提供します。最大測
定サンプルサイズは、面積 300 x 300mm2,
高さ 350 mmです。
Sensofar 0.65倍マイケルソン
S neoxは、多機能性のパイオニアであり続けています。今回は、独自の0.65倍マイケルソン対物レンズと高性能XYステージを組み合わせることで、「高速かつ正確に平面度を測定する」という1つの目的を実現しました。
高い水平方向と垂直方向の分解能で平面度を測定します。
電動チップチルト
電動チップチルトにより、3秒以内にサンプルを自動的に水平にすることができます。このデバイスにより、サンプルの準備時間は短縮され、また自動測定用途において複数の位置でサンプルを水平にすることを可能にします。この自動傾斜調整機能は、すべての測定方式で使用できます。
電動
ノーズピース
ノーズピース
明視野対物レンズと干渉計対物レンズを
含む最大6つの対物レンズを同時に保持
できます。SensoSCANソフトウェアは、
モータによる変更を自動的に処理し、同焦
点調整を自動的に行います。
電動
ノーズピース
ノーズピース
明視野対物レンズと干渉計対物レンズを
含む最大6つの対物レンズを同時に保持
できます。SensoSCANソフトウェアは、
モータによる変更を自動的に処理し、同焦
点調整を自動的に行います。
リング照明
リング照明
LEDリングによるリング照
明は、均一かつ効率的にサ
ンプルを照射します。対物
レンズの上部と周辺にマウ
ントされ、Ai焦点移動法の
シグナルを増強できます。
これによりフォーカス面で
の適切な照明が確保されま
す。
回転ステージ
5軸システムの回転ステー
ジは、回転量360°∞、位置
決め再現性1 秒角の高精
度な電動A軸、回転量-30°
～110°、位置決め再現性1
分角の電動B軸で構成され
ます。System3Rクランプ
システムが搭載されていま
す。
回転ステージ
5軸システムの回転ステー
ジは、回転量360°∞、位置
決め再現性1 秒角の高精
度な電動A軸、回転量-30°
～110°、位置決め再現性1
分角の電動B軸で構成され
ます。System3Rクランプ
システムが搭載されていま
す。
インサートホルダー
インサートホルダーは、切削工具を測定に必要な適切な位置に保持するためのオプションアクセサリーです。 市場のあらゆるインサートモデルに対応します
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