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Sensofarの共焦点法

共焦点プロファイラは、滑らかな表面から非常に粗い表面に至るまで、様々な性状の表面を測定するために開発されました。共焦点プロファイリングは最大0.15 um(Line/Space)の非常に高い水平分解能を提供します。空間サンプリングでは0.01 μmまで下げることができるため、重要寸法の測定に最適です。

背景

共焦点法の原理

共焦点法は、従来の像を光切片に変換し、表面の高さを測定することができます。対象の焦点深度内にこれらの領域の信号が保存され、像コントラストと水平分解能が向上するとともに、システムノイズが低減されます。

Confocal Image
Confocal Image
Background Confocal

光学方式

3D画像処理では、カメラの全画素からデータを取得する必要があります。つまり、共焦点像を再構成する必要があります。そのために、複数のスリットの像がカメラを埋めるために必要なだけ何度も1つの画素に移動されます。移動された複数のスリットのそれぞれで、1つのカメラの画像が撮影され、そのとき照射された画素に共焦点アルゴリズムが適用されます。

S neox Confocal Configuration
S neox patented internal configuration

SENSOFAR特許を取得

可動部品のないセットアップ

Sensofarのシステムに組み込まれている共焦点走査技法は、マイクロディスプレイ走査共焦点顕微鏡(ISO 25178-607に適合)です。マイクロディスプレイは、可動部のない高速切り替え装置となり、高速で信頼性の高い正確なデータを取得します。これと関連アルゴリズムにより、Sensofarの共焦点技法は、他の共焦点手法やレーザー走査共焦点システムよりも優れた、クラス最高の垂直分解能を実現します。

プロプリエタリアルゴリズム

連続で測定 連続共焦点法

共焦点法の測定テクノロジーの画期的なステップで取得時間を一定に3倍短縮。連続共焦点モードは、面内とZ軸の同時走査により、従来の共焦点法による一面ずつの個別の(時間のかかる)取得を回避します。大面積やZ軸の走査で取得時間を短縮するために不可欠です。

Continuous Confocal Algorithm
Banner Webinar Confocal
HDR Confocal

主な特長

共焦点プロファイリングは最大0.15 μm(Line/Space)の非常に高い水平分解能を提供します。空間サンプリングは0.01 μmまで下げることができるため、重要寸法の測定に最適です。高いNA(0.95)と倍率(150倍)の対物レンズを用いて、傾度70°以上の鋭い局所傾斜の滑らかな表面を測定できます(粗い表面の場合は最大傾度86°)。 

  非常に高い水平分解能: 300 nm (レイリー基準) 

  滑らかな表面では最大70°の傾斜、粗い表面では最大86°の傾斜に対応 

  連続共焦点: アクティブ照明焦点移動法と同様のスピード

  高い繰り返し性で、システムノイズを1 nmまで低減

  1.5 μmから数ミリまでの厚さ測定が可能 

  非常に高い柔軟性

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共焦点法システム

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