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Sensofar Metrology präsentiert neue Papers

Events, Metrology, News

Sensofar Metrology präsentiert neue Papers

Die Forschungs- und Entwicklungsabteilung von Sensofar baut ihr Know-how, ihre Technologie und ihre Systemfähigkeiten ständig aus. Die kontinuierlichen Aktivitäten von Sensofar innerhalb und für die wissenschaftliche Metrologiegemeinschaft veranschaulichen diesen Trend.

Im Juni werden zwei Papers präsentiert, die dieses Engagement deutlich machen:

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SPIE Optical Metrology
Mittwoch, 23. Juni, 09:20 Uhr
, 3D Microscopy Session, Paper 11782-24

Technisches Event: Optische Messsysteme für die industrielle Prüfung XII
„Metrologische Charakterisierung verschiedener Methoden zur Wiederherstellung des optisch geschnittenen Bildes mittels strukturierten Lichts
Vortragender: Pol Martínez, MSc (F&ampE)

Abstract. Die abbildende konfokale Mikroskopie (ICM) und die Fokusvariation (FV) sind zwei der am häufigsten verwendeten Technologien für die 3D-Oberflächenmesstechnik. Beide Methoden basieren auf der Schärfentiefe des Mikroskopobjektivs, die von seiner numerischen Apertur und der Wellenlänge der Lichtquelle abhängt, um einen optischen Schnitt zu berechnen.
In diesem Beitrag untersuchen wir, wie sich verschiedene Methoden der strukturierten Beleuchtungsmikroskopie auf die messtechnischen Eigenschaften eines flächenhaften optischen Profilers auswirken. Wir untersuchen die Auswirkungen der Projektion verschiedener strukturierter Muster, der Schnittalgorithmen und der Verwendung von Hoch- und Niederfrequenzkomponenten auf das optische Schnittbild. Wir haben ihre Leistung in Bezug auf Systemrauschen, Instrumentenübertragungsfunktion und messtechnische Merkmale wie Rauheitsparameter und Stufenhöhenwerte charakterisiert.

Die vollständigen Zusammenfassungen sowie die genauen Orte und das endgültige Programm der Präsentationen finden Sie unter SPIE Technologiekonferenzen für optische Messtechnik .

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Virtuelle Internationale EUSPEN Konferenz
Dienstag, 8. Juni 17:00 – 18:00 Uhr. ICE21206 – P5.07  – Vortragsraum 4: Messtechnik (Optischer 3D-Sensor mit hoher Wiederholrate)

„Studie über Lineartische für einen optischen 3D-Sensor“
Vortragender: Pol Martínez, MSc (F&ampE)

Abstract. Die Oberflächencharakterisierung liefert in vielen Qualitätskontrollverfahren entscheidende Indikatoren, da die Oberflächenparameter Aufschluss über die Eigenschaften des geprüften Gegenstands geben. Die am häufigsten verwendeten Technologien zur Oberflächencharakterisierung im Mikro- und Nanobereich sind die Coherence-Scanning-Interferometrie (CSI), die abbildende konfokale Mikroskopie (ICM) und die Fokusvariation (FV). Diese Technologien beruhen auf optischen Prinzipien, wobei die Probe während der Untersuchung nicht beschädigt wird und eine Auflösung im Nanometerbereich erreicht wird. Sie haben jedoch den Nachteil, dass ein mechanischer Scan des gesamten Sensors durchgeführt werden muss, wodurch sich die Erfassungszeit verlängert.
Bei der Entwicklung in Richtung Industrie 4.0 ist ein geschlossener Fertigungskreislauf zur Automatisierung der Fertigungsprozesseschritte unabdingbar. In diesem Zusammenhang fordert die Industrie höhere Geschwindigkeiten und kleinere Sensoren, um die Kosten für die Qualitätsprüfung zu senken, insbesondere bei Inline-Prozessen, bei denen die Probe in der Regel in weniger als 1 s geprüft werden muss. Um diese Anforderung mit optischen Profilern zu erfüllen, muss die Bildrate der Kamera erhöht und gleichzeitig die Größe und das Gewicht des Sensors verringert werden, um die Dynamik des mechanischen Scans zu verbessern.
In diesem Beitrag werden die Leistungsmerkmale eines Lineartisches mit einem bürstenlosen Linearmotor im Hinblick auf Verstellbereich, Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu einem mit einem Schrittmotor angetriebenen Lineartisch analysiert. Der Lineartisch mit bürstenlosem Motor bewegt nur das Objektiv und nicht den gesamten Sensor, wodurch die Beschleunigungsdynamik verbessert wird. Außerdem schlagen wir vor, verschiedene Bewegungsprofile auf den Motor anzuwenden. Diese neuen Profile zielen darauf ab, die durch die Beschleunigung und Abbremsung des Motors verursachten Ausfallzeiten des Systems zu minimieren, da alle vorgenannten Messtechnologien eine sehr stabile, konstante Geschwindigkeit beim kontinuierlichen Scannen erfordern. Die Verringerung der Ausfallzeiten führt zu einer schnelleren Erfassungsrate, so dass 3D-Topografien in Echtzeit erstellt werden können.

Vollständige Zusammenfassung und technisches Poster im Programm der virtuellen internationalen Konferenz .

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