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Sensofarの干渉法

干渉法は、非常に滑らかな表面からある程度粗い表面での測定に対応するように開発されています。どの倍率でも同じシステムノイズを達成できます。PSIでは、システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。

背景

干渉法の原理

干渉法は、光を2つの異なる光路に分割し、後に再結合して干渉を生成するという原理に従っています。干渉対物レンズによって顕微鏡は干渉計として働くことができ、焦点が合ったときにサンプル内でフリンジが観察されます。

Background Interferometry
Background Interferometry
Background Interferometry
PSI measurement

位相シフト干渉法(PSI)
狭帯域の光源(赤、緑、または青)を使用してインターフェログラムの位相を測定します。システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。

位相シフト干渉法(PSI)
狭帯域の光源(赤、緑、または青)を使用してインターフェログラムの位相を測定します。システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。

CSI measurement

垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)
広帯域の光源(白色光)を使用して狭いインターフェログラムを取得します。高さは干渉信号の包絡線の最大の信号の場所によって決定されます。

垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)
広帯域の光源(白色光)を使用して狭いインターフェログラムを取得します。高さは干渉信号の包絡線の最大の信号の場所によって決定されます。

光学方式

PSIの光学方式はFVと同じですが、明視野の代わりに干渉対物レンズが使用されています。トポグラフィーを取得するために、Z軸方向に沿ってセンサーヘッドが走査されます。PSIでは、数ミクロンのみが走査され、位相が取得されます。CSIでは、表面全体の走査に必要な長さ(ミクロン)が走査されます。

PSI
PSI Optical Scheme

位相シフト干渉法(PSI)は、非常に滑らかで連続した表面において、あらゆる開口数(NA)でサブオングストロームの分解能で表面の高さを測定できるように開発されています。非常に低い倍率(2.5倍)を使用し、同じ高さ分解能で広範囲の視野を測定できます。

S neox PSI Configuration
CSI
CSI Optical Scheme

垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)は、白色光を使用して、滑らかな表面からある程度粗い表面で表面の高さを走査します。倍率に関係なく1 nmの高さ分解能を達成できます。

S neox CSI Configuration

プロプリエタリアルゴリズム

干渉法では、極めて高い精度で3D測定が実施されます。Z軸沿いに走査してサンプル全体のフリンジを取得することが可能です。輝度またはPSIもしくはCSIインターフェログラムの位相からそれぞれの高さ情報を取得して、取得した異なる画素に対する高さを使用して3D画像を再構成します。

Interferometry Topography
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主な特長

  対物レンズに関係なく広範囲の視野(FOV)でナノメートル単位の低システムノイズ   

  PSI: 0.01 nm system noise 

  1.5 μmから100 μmまでの厚さ測定が可能 

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干渉法システム

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