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Sensofarの干渉法

干渉法は、非常に滑らかな表面からある程度粗い表面での測定に対応するように開発されています。どの倍率でも同じシステムノイズを達成できます。PSIでは、システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。

背景

干渉法の原理

干渉法は、光を2つの異なる光路に分割し、後に再結合して干渉を生成するという原理に従っています。干渉対物レンズによって顕微鏡は干渉計として働くことができ、焦点が合ったときにサンプル内でフリンジが観察されます。

Background Interferometry
Background Interferometry
Background Interferometry
Interferometry PSI icon

位相シフト干渉法 (PSI)
狭帯域の光源(赤、緑、または青)を使用してインターフェログラムの位相を測定します。システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。

Interferometry ePSI icon

拡張位相シフト干渉法 (EPSI)
広帯域光源(白色光)を使って、狭い範囲の干渉縞を取得します。エンベロープ干渉信号の最大信号の位置の位相を知ることで高さを決定します。

Interferometry PSI icon

垂直走査低コヒーレンス干渉法 (CSI)
広帯域の光源(白色光)を使用して狭いインターフェログラムを取得します。高さは干渉信号の包絡線の最大の信号の場所によって決定されます。

光学系

PSIの光学方式はFVと同じですが、明視野の代わりに干渉対物レンズが使用されています。トポグラフィーを取得するために、Z軸方向に沿ってセンサーヘッドが走査されます。PSIでは、数ミクロンのみが走査され、位相が取得されます。CSIでは、表面全体の走査に必要な長さ(ミクロン)が走査されます。

PSI

位相シフト干渉法

PSI は、非常に滑らかで連続した表面において、あらゆる開口数(NA)でサブオングストロームの分解能で表面の高さを測定できるように開発されています。非常に低い倍率(2.5倍)を使用し、同じ高さ分解能で広範囲の視野を測定できます。

S neox PSI Configuration
EPSI

拡張位相シフト干渉法

EPSIは、CSIとPSIという2つの干渉技術を組み合わせ、2つの技術の限界を克服しています。数百ミクロンという広い範囲で0.1nmの測定ノイズを実現します。

s-neox-optical-scheme-epsi
CSI

垂直走査低コヒーレンス干渉法

CSI は、白色光を使用して、滑らかな表面からある程度粗い表面で表面の高さを走査します。倍率に関係なく1 nmの高さ分解能を達成できます。
関連する論文を読む

S neox CSI Configuration

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プロプライエタリアルゴリズム

干渉法では、極めて高い精度で3D測定が実施されます。Z軸方向に走査してサンプル全体の干渉縞を取得します。PSIもしくはCSI、それぞれの干渉縞の強度または位相から高さ情報を取得し、取得した異なる画素に対する高さを使用して3D画像を再構成することが可能です。

Interferometry Topography
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主な特長

  対物レンズに関係なく広範囲の視野(FOV)でナノメートル単位の低システムノイズ   

  PSI: 0.01 nm system noise 

  1.5 μmから100 μmまでの厚さ測定が可能 

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干渉法システム

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