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測定原理

3D optical metrology techniques

強化された光学測定法

当初から高性能3D光学式形状測定装置として開発されたSensofarのシステムのいくつかは、すべてのテクノロジーを組み合わせ、既存のあらゆる光学式形状測定装置を凌ぎます。

フリンジプロジェクション
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フリンジプロジェクションは、大面積の測定に最適です。低システムノイズで垂直方向の高い精度と繰り返し性を実現します。

Fringe Projection measurement of a Tablet, high vertical accuracy
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フリンジプロジェクションは、大面積の測定に最適です。低システムノイズで垂直方向の高い精度と繰り返し性を実現します。

アクティブ照明焦点移動法
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アクティブ照明焦点移動法は、広範囲の粗い表面の測定に対応するように開発、改良されています。急傾斜表面に最適です。

Active Illumination Focus Variation example
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アクティブ照明焦点移動法は、広範囲の粗い表面の測定に対応するように開発、改良されています。

急傾斜表面に最適です。

Active Illumination Focus Variation example
共焦点法
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共焦点形状測定装置は、滑らかな表面から非常に粗い表面で、表面高さを測定できます。重要寸法の測定に最適です。

Confocal texture
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共焦点形状測定装置は、滑らかな表面から非常に粗い表面で、表面高さを測定できます。重要寸法の測定に最適です。

干渉法
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干渉法は、特定の応用で使用でき、非常に滑らかな表面から均一なある程度粗い表面で測定が可能です。

Interferometry exmple
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干渉法は、特定の応用で使用でき、非常に滑らかな表面から均一なある程度粗い表面で測定が可能です。

Interferometry exmple
分光反射率測定
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透明層のサンプルには、薄膜を素早く正確かつ非破壊的に測定できる反射率測定が重要となります。

SR
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透明層のサンプルには、薄膜を素早く正確かつ非破壊的に測定できる反射率測定が重要となります。

ポートフォリオ

テクノロジーの組み合わせ

Sensofarのシステムはさまざまな光学測定法やその組み合わせによって動作します。それらの技術的な利点を組み合わせ、最新テクノロジーとそれらを動作させるソフトウェアを実装することで、市場最大の競争力を持つレベルの高い装置となっています。

s-wide2
s-neox2
s-lynx-and-s-mart2
s-onix2
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s-neox2
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なぜ4-in-1テクノロジーなのか?

4-in-1 optical metrology techniques graph

S neoxで採用されているSensofarの4-in-1アプローチによって、ソフトウェア内でワンクリックするだけで、システムがその作業に最適な測定方法に切り替わります。S neoxセンサーヘッドには、アクティブ照明焦点移動法、共焦点法、干渉法、分光反射法の4つの測定方法があります。それぞれの方法がシステムの汎用性に大きく貢献し、データ取得における不要な比較を最小限に抑えています。これらがSensofarのクラスをリードする表面形状測定性能を実現しています。

特許取得のテクノロジー

マイクロディスプレイが鍵!

Sensofarのシステムは、特許を取得したマイクロディスプレイ走査テクノロジーを採用しています。マイクロディスプレイはシリコン基板の強誘電性液晶(FLCoS)テクノロジーに基づき、可動部のない高速切り替えデバイスとして、迅速に確実かつ正確な共焦点像の走査を可能にします。高分解能走査台と交換可能な対物レンズとの組み合わせにより、柔軟な光学システムを提供します。

3D optical metrology techniques Microdisplay Image

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measurement techniques
(Confocal, Interferometry,
Focus Variation and
Spectroscopic Reflectometry),
found in most of the systems
in the market, enable users to
obtain the measurements
they need in their surface
metrology works.
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techniques-webinar-610-02

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市場のほとんどのシステムで採用されている最も一般的な光学測定方法(共焦点法、干渉法、焦点移動法、分光反射法)により、その表面形状測定作業で必要な測定を取得できます。