RECTANGLE BUMP

Dieses Plugin berechnet die Fläche des Bumps sowie dessen Höhe relativ zur Grundfläche, die Breite in X- und Y-Richtung sowie Oberflächenkennwerte wie Sa und Sz.

CUTTING TRACE

Dieses Plugin berechnet den Abstand vom Trace-Punkt zur Stufenkante, den Abstand unterhalb der Stufe sowie die Höhe vom Trace-Punkt bis zur Grundfläche.

FIBER ANGLE

Dieses Plugin ermöglicht die Analyse des Radius des gemittelten horizontalen Profils sowie des Winkelschwellenwerts zwischen der Faser und der Oberfläche.

CRATER GROOVE

Dieses Plugin bestimmt die Tiefe, in der die innere Nutkante von der Oberseite aus erkannt wird. Dabei wird eine schwellenwertbasierte Segmentierung eingesetzt, um die Nutkante eindeutig von der [...]

TRIM TWO LEVELS

Ermöglicht die Analyse von Stufenhöhen über mehrere Ebenen auf Halbleiterwafern und gewährleistet eine konsistente Bewertung unterschiedlicher Stufenstrukturen innerhalb eines einzigen Workflows.

APR BOARD

Bewertet die Oberflächentopografie durch die Extraktion zentraler Parameter wie Höhe zwischen Peak und Tal, Peak- und Talvolumina sowie Sa-Werte. Ermöglicht die Analyse einzelner [...]

PI TRIM

This plugin is designed for wafer applications that focuses on key dimensional parameters, primarily the distance between stacked features and the total feature height, enabling accurate control [...]

TB GLUE

Dieses Plugin wurde für Wafer-Anwendungen entwickelt, um die Klebstoffabscheidung auf siliziumbasierten Oberflächen zu bewerten.