颜色坐标

通过提取几何信息与比色信息分析半导体晶体样品,可评估晶体的形状、尺寸、位置、圆度及颜色。此外,用户自定义阈值可实现高效颗粒过滤,提升分析准确性与可控性。

APR板(表面轮廓分析板)

通过提取峰谷高度、峰谷体积、Sa值(算术平均偏差)等关键参数评估表面形貌。支持通过用户自定义阈值对单个表面特征进行评估,选择性分析峰与谷,提升结果的准确性与可控性。

PI TRIM

该插件专为晶圆应用设计,重点关注关键尺寸参数,主要包括堆叠结构之间的距离以及结构的总高度,从而实现对关键工艺尺寸的精确控制与验证。

晶圆胶

该插件面向半导体应用,用于表征晶圆上的胶水轨迹。重点分析胶线宽度以及相对于底部表面的胶层高度等关键参数,从而实现对沉积均匀性和工艺质量的有效监控。

腔体球结构

该插件用于分析在腔体内具有凸球形结构的半导体结构。可对关键几何参数进行精确评估,包括中心直径、球体直径、孔尺寸、同心度以及相关高度参数。

TB GLUE

该插件专为晶圆应用开发,用于评估硅基表面上的胶水沉积情况。重点分析关键高度参数,包括相对于硅表面的最小、最大和平均胶层高度,从而支持对胶层均匀性和工艺控制的可靠评估。

梯度斜率

该插件专为半导体应用开发,用于表征台阶过渡和倾斜结构特征。提供关键参数,如台阶高度、底部高度参考值、投影到底部拐点的距离以及斜率角度,实现对结构几何形貌及过渡行为的精确分析。

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