Sensofar präsentiert neue Forschung auf der World of Photonics 2025: Bekämpfung von Flachheitsfehlern in der optischen Messtechnik
Wir sind stolz darauf, die Veröffentlichung eines Forschungsbeitrags unserer Kollegin Lena Zhukova auf dem World of Photonics Congress in München hervorzuheben. Die Arbeit mit dem Titel „Mapping and correcting residual flatness errors in optical metrology for high precision surface measurements“ von Lena Zhukova leistet einen bedeutenden Beitrag auf dem Gebiet der optischen Messtechnik.
Autor(en): Lena Zhukova, Roger Artigas, Sensofar-Tech, S.L. (Spain); Guillem Carles Santacana, Sensofar-Tech, S.L. (Spain)
24. Juni 2025 • 16:40 – 17:00 MESZ | ICM, Saal 14c
Restflachheitsfehler in der optischen Messtechnik entstehen durch die Abhängigkeit optischer Aberrationen vom lokalen Neigungswinkel und der Position des Messfelds und stellen eine Herausforderung bei der präzisen Charakterisierung geneigter Oberflächen dar. In dieser Studie werden diese Fehler mithilfe von Messungen an einem planen Spiegel bei verschiedenen Neigungswinkeln kartiert, wobei ein Zusammenhang zwischen Restflachheitsfehler, Neigung und Position hergestellt wird. Ein Modell wurde entwickelt, um diese Fehler für beliebige Probengeometrien zu schätzen und zu korrigieren. Durch Experimente validiert, verbessert die Methode die Messgenauigkeit und -zuverlässigkeit und führt zu einer Reduktion des RMS. Dieser Ansatz verbessert die Oberflächencharakterisierung nicht-planarer Proben und trägt zur Weiterentwicklung der Präzision in der optischen Messtechnik bei.
