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Sensofar 推出其最为先进的 3D 光学轮廓仪:PLu neox

Metrology, 产品, 新闻

PLu neox是Sensofar 最为先进的光学轮廓仪。基于一系列成功的PLu 光学轮廓仪产品,PLu neox 结合了共聚焦扫描、相位差干涉、白光干涉与分光光度计,能最为广泛地应用于3D 和薄膜测量技术。这一强大的功能结合能实现对技术表面以精细至小于0.1 纳米的垂直分辨率进行2D 和3D 分析,测量斜率超过70 度的光滑表面以及分辨率小于1 纳米的薄膜测量。

此外,Sensofar 还加入了其专利的扫描微显示技术,能实现每秒多达12.5 张共聚焦图像的快速共聚焦扫描。改进的共聚焦和干涉算法能实现高达800 微米/秒的垂直扫描速度,以及5 秒之内的典型测量时间(包含计算时间)。PLu neox包含了两种垂直扫描仪:能实现精至0.01 纳米高分辨率3D 测量的Piezo 支架扫描仪,和能实现超过40 毫米测量范围的大型垂直扫描仪。PLu neox拥有完全自动化的XY 轴扫描平台,能处理大至500 mm² 的样本。另可选择超过50 种放大倍率从2.5x 到200x 的尼康物镜,应用范围无可限量。

工具操作和程序创建通过SensoSCAN 软件执行。SensoSCAN软件包含一套完整的2D 和3D 数据分析和查看工具。基于Digital Surf 的Mountains 软件技术,SensoMAP 用于高级鉴定和数据报告,能提供直观先进的分析软件,拥有各种视图、表面控制器和国际统一表面标准。

Sensofar 团队在PLu neox中集成了先进的光学和技术,创建了强大的3D 轮廓仪和薄膜分析工具,能够应对各种各样的表面测量应用。

Sensofar 在接下来的数月内将在各大展览中展示PLu neox。

我们期待与您见面!