テクノロジー
フリンジプロジェクション
光源
530nm
460nm
寸法
mm (inch)
ベース & コラム
対物レンズ
| MAG | 0.243X |
| NA | 0.015 |
| WD (mm) | 80 |
| FOV1 (mm) | 34.7 x 29.1 |
| 空間サンプリング2 (µm) | 14.2 |
| 光学解像度3 (µm) | 9.35 |
1 3/2インチカメラによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDの値。
XYステージ性能
| XY | 電動 | ||
| 手動 | M | XL | |
| 移動量 (mm) | 150 x 100 | 154 x 154 | 302 x 302 |
不確かさおよび再現性
| U、σ | |
| 段差高さ | U=2.5 µm、σ= 0.05 µm |
| 面粗さ (Sa) | U=1 µm、σ=0.01 µm |
| 線粗さ (Ra) | U=1 µm、σ=0.05 µm |
| 幅の測定1 | U=5 µm, σ= 1 µm |
1 測定値は、Sensofarの計測プロトコルに従い、環境制御された条件下で基準標準に対して繰り返し測定を行うことで評価されます。
コンピュータ & OS
| コンピュータ | 第8世代 Intel® Core™ i7プロセッサ ディスプレイ3840×2160ピクセル解像度 (4K)（27インチ） |
| OS | Microsoft Windows 10、64 ビット版 |
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