完璧なアクセシビリティ

S neox Five Axis 光学式3次元測定装置は、高精度回転ステージモジュールと、S neox 3D測定顕微鏡の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。 S neoxの3D測定技術は、形状(焦点移動)、サブナノメーター粗さ(干渉計)、高い水平方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度(共焦点)測定まで広範囲のスケールをカバーします。

最高の多機能性

S neox Five Axisは、定義された位置で自動的に3D表面測定を実行し、その結果を組み合わせて完全な3D形状を生成します。は表面の形状と粗さを計測できます

完璧な3D計測

S neox Five Axis は回転と仰角(視点)の異なる位置でサンプルを測定し、個々の測定結果から成るグループを生成します。SensoFIVEソフトウェアは、これら個々の表面測定による画像情報を重ね合わせて統合し、サンプル表面全体の測定結果を高精度に生成します。仰角の異なるデータをマージすることで、鋭角部や重要な面及び3Dの形状情報を提供できます。

隣接表面を連結し90°以上
の角度も測定可能に

急峻な角度を含む複雑な表面は、影が発生するため1回で全体を計測するのが非常に困難です。このようなサンプルの完全な表面形状を計測するには、サンプルを傾けて異なる2点から測定し、その2つの測定形状を結合する必要があります。本システムは5軸の回転ステージでサンプルを反対位置に置き換えることで、表面全体の形状を明らかにします。測定した個々結果は自動的にマージされ、完全な3D形状測定が達成されます。

隣接表面を連結し90°以上
の角度も測定可能に

急峻な角度を含む複雑な表面は、影が発生するため1回で全体を計測するのが非常に困難です。このようなサンプルの完全な表面形状を計測するには、サンプルを傾けて異なる2点から測定し、その2つの測定形状を結合する必要があります。本システムは5軸の回転ステージでサンプルを反対位置に置き換えることで、表面全体の形状を明らかにします。測定した個々結果は自動的にマージされ、完全な3D形状測定が達成されます。

複数の測定位置で、
リミットレスな測定を実現

自動ルーティンにより、ワンクリックでサンプルの異なる部分を測定できます。ユーザーフレンドリーなインタフェースで、ストレスなく測定位置を見つけられます。サンプルの重要な部分にフォーカスして、自動ルーティンに追加します。最後「Acquire」をクリックすると、全パーツを測定します。この一連の手順で非常に素早く簡単に測定ルーティンを自動化できます。

高精度&高信頼性の
表面仕上げ検査

共焦点法及び光干渉法の技術により、非常に粗い面(例: additive manufacturing 製作物)から、1Åオーダーの高反射率表面(ダイヤモンドミラー)まで、あらゆる種類の粗さ測定が可能です。NPL, NIST, PTB といった粗さ標準に準拠した再現性とトレーサビリティを提供します。また焦点移動法は、対物レンズの倍率に依存せず、急峻な傾斜の計測において、素早く簡単な応答性を提供します。

高精度&高信頼性の
表面仕上げ検査

共焦点法及び光干渉法の技術により、非常に粗い面(例: additive manufacturing 製作物)から、1Åオーダーの高反射率表面(ダイヤモンドミラー)まで、あらゆる種類の粗さ測定が可能です。NPL, NIST, PTB といった粗さ標準に準拠した再現性とトレーサビリティを提供します。また焦点移動法は、対物レンズの倍率に依存せず、急峻な傾斜の計測において、素早く簡単な応答性を提供します。

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