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新しいS neox 3D表面形状測定装置で3D検査を体験

Metrology, News, 製品

Sensofarは、非接触光学3D表面計測用の新しいS neoxの発売を発表し、3D検査に新しい道筋を開きます。当初から高性能な3D表面形状測定装置として設計されたS neoxは、同じ1つのセンサーヘッドに統合した3D共焦点法と干渉法(PSI、VSI)技法でそれぞれ0.01 nmと0.1 µmという垂直分解能と水平分解能を達成しました。 さらにこのシステムでは、実際の3D顕微鏡画像だけでなく、表面上の任意の透明なコーティングの厚さ測定も取得できます。

前モデルからの実質的なアップグレードを経て、新しい設計では、今日手に入る既存の光学形状測定装置をしのぐS neox の機能を際立たせるいくつか重要な強化策とテクノロジーの進化が施されました。
テクノロジーの進化には次のものがあります:

50%大きな視野の高分解能CCDセンサーと高分解能ディスプレイにより、スケールを調整しなくても、シャープで非常に明瞭、かつ色鮮やかな画像が画面に表示されます。

4つのLED光源(R、G、B、白色)とそのコアは個別に使用して水平分解能や光学コヒーレンス長を最適化します。

新しいカラー画像は、緑色LEDと青色LEDで検査対象の表面を連続して照射して取得します。高い色忠実度と飽和画像が、実際の画素間色情報とともに得られます。

ISO 25178準拠のため、ほとんどの一般的な表面性状パラメータを分析ソフトウェアに組み込んでいます。

高速用途や反射率の極めて低い面でも、すばらしいフル3Dスキャンを3秒未満で取得できます。

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これらすべての利点と、それぞれのNAの作動距離を最大限に取るための新しいCF60-2 Nikon対物レンズを含めると、S neoxは、複数の構成と最高パフォーマンスで技術的表面のマイクロジオメトリーとナノジオメトリーを高速で、非侵襲的に評価を得るための理想的なツールと言えます。

システムを完成するのは、再設計され、(より)直感性を増した取得機能と分析能力を備えたソフトウェア、SensoSCANと、生産ライン環境などの完全自動化測定タスクと完全自動化分析タスクのために組み合わせることのできるオプションのSensoPRO LTアプリケーションとSensoMAPアプリケーションです。

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