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新しいLinnik干渉計対物レンズ

ニュース, 製品, 計測学

Sensofarでは、オプションモジュールとしてLinnik干渉計対物レンズの発売を開始しました。Linnik対物レンズは、それなしでは対応が困難な、透明材料の奥深くの面の干渉像を生み出すために開発したものです。Linnik対物レンズの光学機械的デザインは、2枚の同一対物レンズからなり、1枚は基準表面に焦点を結び、もう1枚は検査対象の表面に焦点を結びます。

2枚の明視野対物レンズの組み合わせから、さまざまな可能性の扉が開きます。Linnik対物レンズには、超長距離作動距離(SLWD)対物レンズ、高開口数、液浸、あるいは従来の干渉計にはない仕様を備えた組合せの対物レンズを使用できます。1組の対物レンズには、2枚の50x SLWDを使用してシリコンウェハーなどの PSI傾斜表面を、 目標にぶつかることなく45度で測定することができます。あるいは、1組の20x EPIを使用すれば、ガラス質で保護された水に含まれるタンパク質結晶を画像化することができます。

このようなメリットはあるものの、Linnik対物レンズは取り扱いが難しく、アライメントの経験が要求されます。そこで、通常は、緑色LEDや赤色LEDなどの長周波コヒーレンス光源を干渉フィルターと併用します。