Sensofar 在 2025 世界光子学大会首次发布新研究成果：解决光学计量中的平整度误差
我们自豪地强调我们同事Lena Zhukova在慕尼黑举行的世界光子学大会上首次发表的一篇研究论文。该论文题为“用于高精度表面测量的光学计量中残余平整度误差的映射与校正”，由 Lena Zhukova 撰写，预计将对光学计量领域做出重要贡献。
作者：Lena Zhukova、Roger Artigas，Sensofar-Tech, S.L.（西班牙）；Guillem Carles Santacana，Sensofar-Tech, S.L.（西班牙）
2025年6月24日 • 16:40 – 17:00 CEST | ICM, Saal 14c
光学计量中的残余平整度误差源于光学像差对样品局部倾斜角度和视场位置的依赖性，这为倾斜样品的精确表面表征带来了挑战。本研究通过测量在不同倾斜角度下的平面镜，绘制出残余平整度误差与局部倾斜角和位置之间的关系图。研究团队开发了一个模型，用于估算并校正任意样品几何结构下的这些误差。通过实验验证，该方法提高了测量精度和可靠性，显著减少了均方根误差（RMS）。该方法提升了非平面样品的表面表征能力，推动了光学计量的精密化发展。
