スタンド構造

S neox はコンプリート製品で、複数の構
成要素をもつ工業的表面のミクロ/ナノ形
状を素早く非破壊で評価計測します。研究
開発や品質検査ラボ用の標準セットアップ
から、オンラインのプロセス制御用の洗練
されたカスタムソリューションまで、高い柔
軟性、耐久性、効率を提供します。最大測
定サンプルサイズは、面積 300 x 300mm2,
高さ 350 mmです。

Design

電動
ノーズピース

明視野対物レンズと干渉計対物レンズを
含む最大6つの対物レンズを同時に保持
できます。SensoSCANソフトウェアは、
モータによる変更を自動的に処理し、同焦
点調整を自動的に行います。

リング照明

LEDリングによるリング照
明は、均一かつ効率的にサ
ンプルを照射します。対物
レンズの上部と周辺にマウ
ントされ、Ai焦点移動法の
シグナルを増強できます。
これによりフォーカス面で
の適切な照明が確保されま
す。

s-neox-five-axis-7

回転ステージ

5軸システムの回転ステー
ジは、回転量360°∞、位置
決め再現性1 秒角の高精
度な電動A軸、回転量-30°
~110°、位置決め再現性1
分角の電動B軸で構成され
ます。System3Rクランプ
システムが搭載されていま
す。

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