新しい S neox は、性能、機能、効

率、デザインの全ての面で既存の

光学3Dプロファイリング顕微鏡を

凌駕する、クラス最高の面形状計

測システムです。

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さらに速く

スマートでユニークな新しいアル
ゴリズムとカメラにより、全てをさ
らに速く実行できます。データ取
得速度は 180fps で、標準測定
時間は5倍も短縮されました。新
しいS neoxは市場で最速の面形
状測定システムです。

使い易く

Sensofarでは最高の性能・品質
を提供するため、継続的に製品改
良を行っています。第5世代であ
る新しいS neoxは、直感的でより
素早く、より簡単に使用できるよ
うになっています。初めてお使い
になる方も、ワンクリックでシステ
ムを操作できます。ユーザーの要
求に合わせるためのソフトウェア
モジュールもございます

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多機能 システム

品質管理

品質管理

自動化モジュールであらゆるQC手順を
容易にできます。例えばオペレータのアク
セス権管理、レシピ、バーコード/QRリー
ダーとの互換性のほか、Sensofar社独自
の SensoPRO ソフトウェアからプラグ
インをカスタマイズして合否レポートを作
成できます。優れた柔軟性と使い易いイ
ンターフェースにより、24時間365日動
作するようなプログラムで、QC用途下で
の使用に最適化できます。

研究開発

研究開発

S e n s o f a r 社の「3 – i n – 1 」技術
は、SensoSCANをシングルクリックす
るだけで、システムをタスクに最適な手
法に切り替えられます。S neox センサ
ヘッドに採用している3つの測定技術(
共焦点法、光干渉法、Ai焦点移動法)は
それぞれ、システムの多様性に大きく貢
献し、妥協のないデータ収集に役立ちま
す。S neox はあらゆる研究環境に理想
的な製品です。

3-in-1技術の特長

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Ai 焦点移動法NEW!

アクティブ照明焦点移動法は,広範囲の粗い面の形状を測定するために開発された光技術です。この技術は共焦点法と光干渉法を融合させた3D測定において蓄積されたSensofarの高い専門知識に基づいたもので、特に低倍率での共焦点測定を補完するように設計されています。アクティブ照明の採用により、光学的に滑らかな面上でもより信頼性の高い焦点位置が検出できるようになっています。

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共焦点法

光学系に開口を利用した顕微鏡撮像方式です。開口を使うことにより、焦点の合っていない焦点外れの光を検出しないように設計されており、試料表面の焦点の合っている点のみが測定されます。ビームまたは開口を、機械的またはデジタル的に走査して得られた2D像を、高さ方向に積層することにより、3Dプロファイルを計測しています。

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光干渉法

光干渉法は、光源から出た光はビームスプリッタにより2つの光路に分けられ、一方はリファレンスミラーで反射され、他方は、試料表面で反射される。これら2つのビームは再び同一光路に戻り、重なり合うことで、空間干渉パターン(干渉縞)を得られます。干渉縞は2つのビームの光路差の情報を含んでおり、干渉縞を解析することにより、3次元的な表面形状を高分解能に計測することができます。

薄膜計測

光学的に透明な層の厚さを迅速、正確、
非破壊的に測定でき、またサンプルの下
準備が不要です。本システムは、可視域
でサンプルの反射率スペクトルを取得
し、レイヤ―厚みを最適値にフィットする
まで修正しながら、ソフトウェアで計算さ
れたシミュレートスペクトルと比較しま
す。50nm~1.5μmの透明フィルムなら
1秒以内で測定できます。測定のスポット
サイズは、対物レンズの倍率によって異な
り、0.5~40μmです。

高解像度

垂直方向の分解能は、装
置ノイズによって制限され
ます。なお装置ノイズは干
渉法では固定ですが、共焦
点では開口数に依存しま
す。Sensofar独自のアルゴ
リズムは、光学機器で可能
な最高の横方向分解能で、
どの測定方法でもシステム
ノイズはナノメートルレベル
のシステムノイズを提供しま
す。図のトポグラフィは、サブ
ナノメートル(0.3nm)の原
子層です(PTB提供)。

high_resolution
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DIC 観察

微分干渉観察法(DIC)は、通常
の観察では差異が見られない
ような微小な高さの形状を強
調するために用いられます。ノ
マルスキープリズムを使用し
て生成される干渉像では、明
視野像や共焦点像では見えな
いサブナノメートルスケール
の構造を観察できます。

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