テクノロジー

icon_Confocal_rgb_80x80

共焦点法

icon_Interferometry_rgb_80x80

干渉法

PSI | ePSI | VSI

icon_FocusVariation_rgb_80x80

焦点移動法

光源

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

550nm

寸法

ベース & コラム

コントローラー

対物レンズ性能

明視野
tableObj_BF_SneoxOnly

共焦点法

tableObj_Confocal_Z_NotSlynx

焦点移動法

Other objectives available: Water Immersion | Super Long Working Distance | Extra Long Working Distance | Collar Ring Depth Focusing Correction

1 2/3インチカメラ及び0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。2表面でのピクセルサイズ  3 L&S:線&間隔。レイリー規準による回折限界の半分の値。青色LEDによる値  明視野対物レンズで、21の走査平面。システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。6 滑らかな面上の、最大傾斜 86ºの粗面に対応

干渉

PSI / ePSI / VSI

Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik

1 2/3インチカメラ及び0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。2表面でのピクセルサイズ  3 L&S:線&間隔。レイリー規準による回折限界の半分の値。青色LEDによる値  干渉対物レンズでスキャンレンジ 10μm。5システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉用対物レンズ、PSI の場合、防振機能を有効にした状態で10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。6 滑らかな面上の、最大傾斜 86ºの粗面に対応

回転ステージ

tableRotationalstage_FiveAxis

XYZ 性能

XY
Z
tableStage_Z_SneoxOnly

コンピュータ & オペレーティングシステム

photoProduct_SmartComputerDimensions
PC HP Z240 SFF TOWER
画面 LG 34UM88-P 2560×1080 px
オペレーティングシステム Microsoft Windows 10, 64ビット版の
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