テクノロジー

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共焦点法

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干渉法

PSI | ePSI | CSI

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Ai焦点移動法

光源

icon_RedLight

630nm

icon_GreenLight

530nm

icon_BlueLight

460nm

icon_WhiteLight

575nm

寸法

ベース & コラム

コントローラー

対物レンズ性能

明視野

共焦点法 / Ai焦点移動法

Other objectives available: Water Immersion | Super Long Working Distance | Extra Long Working Distance | Collar Ring Depth Focusing Correction

1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。   2 表面でのピクセルサイズ。   3 L&S: ライン&スペース。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測   5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。

干渉

PSI / ePSI / CSI

Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik

1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。   2 表面でのピクセルサイズ。   3 L&S: ライン&スペース。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉用対物レンズ、PSIの場合、防振機能を有効にした状態で10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED)。解像度 HD。
5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。

精度&再現性

tableAccuracyRepeatability

(6) 共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に拠る:ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。σは25回測定による。
7 面積 1×1 mm。   8 プロファイル 4 mm長。

回転ステージ

tablerotationalstage_sneoxfiveaxis2019

(9) 値は全て、温度20±1℃の防振環境下でISO1101に準拠する 10 ER32 コレットホルダ。 11 St平坦度偏差はISO25178-2に準拠し、SiC参照用平面ミラーと20倍対物レンズを共焦点モードで計測した値。 12 値は全て、20倍対物レンズを用いて、共焦点モード、評価距離 40mm で計測。

XYZ 性能

XY
Z

コンピュータ & オペレーティングシステム

photoProduct_Sneox090ComputerDimensions
PC 8th generation Intel® Core™ i7 Processor
画面 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
オペレーティングシステム Microsoft Windows 10, 64ビット版の
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