3-in-1テクノロジー

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共焦点法

光学系に開口を利用した顕微鏡撮像方式です。開口を使うことにより、焦点の合っていない焦点外れの光を検出しないように設計されており、試料表面の焦点の合っている点のみが測定されます。ビームまたは開口を、機械的またはデジタル的に走査して得られた2D像を、高さ方向に積層することにより、3Dプロファイルを計測しています。

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干渉法

光干渉法は、光源から出た光はビームスプリッタにより2つの光路に分けられ、一方はリファレンスミラーで反射され、他方は、試料表面で反射される。これら2つのビームは再び同一光路に戻り、重なり合うことで、空間干渉パターン(干渉縞)を得られます。干渉縞は2つのビームの光路差の情報を含んでおり、干渉縞を解析することにより、3次元的な表面形状を高分解能に計測することができます。

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焦点移動法

焦点移動(フォーカスバリエーション)方式は、被写界深度が非常に低い光学系または試料を垂直方向にスキャンして、表面の連続的に撮像します。解析アルゴリズムによって、各フレーム内の焦点が合っている点が決定され、すべての画像から焦点の合った点のみを合成し3Dプロファイルを高速に計測することができます。

共焦点法

可動部品なし

S neoxは、共焦点走査にマイクロディスプレイに基づくSensofarの特許取得済みテクノロジーを使用します。LCoS(Liquid Crystal On Silicon)マイクロディスプレイは、高速かつ非常に安定した共焦点画像の走査を可能にする高速切り替えデバイスです。このアプローチをSensofarの高NA対物レンズ(0.95)と組み合わせることで、垂直解像度が1 nm未満まで低減されます。加えて、センサーヘッドには可動部品がないため、保守やアライメントに関する問題がなく、センサーヘッドの有効寿命に制限がありません。

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かつてない

高精度

新しいピエゾステージは、センサーヘッドの精密な垂直走査を制御し、解像度を0.01 nm、線形性を0.03%まで向上させます。また、段差高さを測定する場合、精度0.5%を実現します。

卓越した水平分解能

レイリー限界では、1つのエアリーディスクの第1極小点が第2のエアリーディスクの中央極大点と重なったときに2点が分解されると定義されています。したがって、短波長の光および超高NA対物レンズを使用すると、水平分解能が改善されます。また、インコヒーレント照明および共焦点技術による撮像原理などが、レイリー限界の係数Kを低減させる付加的な要因となります。これらの観点から、S neoxは市場にあるどの光学プロファイラよりも性能面で卓越しています。

驚きの

画質

S neoxは、最大1360×1024ピクセルの高解像度CCDセンサーを2560×1440の高解像度ディスプレイと組み合わせて使用します。S neoxで取得される画像は、アップスケールやダウンスケールを必要としないため、画面上で常にシャープ、鮮明かつリアルに表示されます。

リアルカラーの各ピクセル

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photoSurface_SensofarSneox

赤、緑、青のLED照明が計測中の表面が順々に照射されます。3色の照明によるモノクロ画像が撮影され、高解像度のカラー画像に合成されます。このアプローチのメリットは、高い色再現性と彩度、そしてリアルなピクセルごとの色情報です。ピクセルのべイヤーマトリックスに基づく通常カラーカメラとは対照的に、S neoxはピクセル間で色情報を補間する必要がありません。

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