テクノロジー

S mart
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共焦点法

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干渉法

VSI

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焦点移動法

S onix
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干渉法

VSI

光源

icon_WhiteLight

550nm

寸法

S mart
photoProduct_SmartSensorhead
photoProduct_SmartControllerDimensions
S onix
photoProduct_SonixSensorheadDimensions
photoProduct_SonixControllerDimensions

対物レンズ性能

S mart

明視野

MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2
FOV1 (µm) 6800 x 5675 3400 x 2837 1700 x 1420 850 x 710 340 x 284 170 x 142 113 x 95
Spatial sampling2 (µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14 0.09
Optical resolution3 (µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17
Measurement time4 (s) >3

共焦点法

Vertical resolution5 (nm) 300 75 25 8 3 2 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 42 51 71

焦点移動法

Min. measurable roughness Sa > 10 nm
Maximum slope (º) up to 86º

利用可能なその他の対物レンズ: 液浸 | 長作動距離 | 超長作動距離 | ガラス厚補正

1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。  3 L&S: ライン&スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。  4 共焦点のための21走査面。  5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。  6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大86º。

干渉法

MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 3400 x 2837 1700 x 1420 850 x 710 340 x 284 170 x 142
Spatial sampling2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14
Optical resolution3 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.30 0.24
Measurement time4 (s) >3

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 42

利用可能なその他の対物レンズ: 可変反射率 | マイケルソン | ミロー | リニク

1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。  3 L&S: ライン&スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。  4  10 μm走査レンジ。  5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。   6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大86º。

S onix

干渉法

MAG 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (µm) 5040 x 3780 2520 x 1890 1260 x 945 630 x 472 252 x 189 126 x 94
Spatial sampling2 (µm) 7.88 3.94 1.97 0.98 0.39 0.19
Optical resolution3 (µm) 7.88 3.94 1.97 0.98 0.39 0.24
Measurement time4 (µm/s) 25

VSI

Vertical resolution5 (nm) 1
Maximum slope6 (º) 3 8 14 21 25 42

利用可能なその他の対物レンズ: 可変反射率 | マイケルソン | ミロー | リンニク

1 2/3”カメラと0.375Xオプティクスによる最大視界。  2 表面のピクセルサイズ。  3 L&S: 線と空間、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。  4  測定速度 1X。  5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。   6 滑らかな面上、粗い面上では最大86º。

Z 性能

Z LINEAR SCALE
Vertical range 40 mm (1.6″)
Linearity <0.5 µm/mm
Resolution 2 nm

Software

S mart
User management rights Administrator, advanced operator, operator
Acquisition technologies Confocal, VSI and Focus Variation
Measurement types Image, 3D, 3D thickness, profile and coordinates
Advanced software analysis SensoMAP and SensoPRO
Remote control Software Development Kit (SDK) (optional)
S onix
User management rights Administrator, advanced operator, operator
Acquisition technologies VSI
Measurement types Image, 3D, 3D thickness
Advanced software analysis SensoMAP and SensoPRO
Remote control Software Development Kit (SDK) (optional)

コンピュータ & オペレーティングシステム

S mart
photoProduct_SMartComputerDimensions
PC

HP Z240SSF

画面 HP27i 2560×1440 px

オペレーティングシステム 64 ビット版のMicrosoft Windows 10
S onix
photoProduct_SonixComputerDimensions
PC

HP Z240SSF

画面 HP23i 1920×1080 px

オペレーティングシステム 64 ビット版のMicrosoft Windows 10
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