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なぜ3-in-1テクノロジーなのか?

基礎から高性能3D光学形状測定装置として設計されたS neoxは、現存するすべての光学形状測定装置の性能を凌ぎ、3つのテクニック – 共焦点法(高スロープのある面に最適)、干渉法(最高の垂直分解能を生み出す)および焦点移動法(わずか数秒で形状を測定)– を可動部品のない同じセンサーヘッドに組み合わせています。

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共焦点法

共焦点形状測定装置は、滑らかな面から粗い面まで表面の高さを測定し、その空間サンプリングは0.10 μmと低く、クリティカルな寸法測定に理想的です。高NA(0.95)および高倍率(150X)の対物レンズは、滑らかな面で>70°の急峻な局部傾斜、粗い面では86°までの測定に利用可能です。弊社独自の共焦点アルゴリズムは、nmスケールでの垂直再現性を提供します。

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干渉法

VSI

白色光垂直走査干渉計(VSI)は滑らかな面から中程度の粗さのある面までの表面高を測定し、NAを問わずnm垂直分解能を提供します。そのためS neoxは利用可能な全倍率を使用して高さ分解能を妥協することなく形状フィーチャをプロファイルできます。

PSI

位相シフト干渉法(PSI)は、非常に滑らかな連続面の表面高を測定し、NAを問わず準nm垂直分解能を提供します。非常に低い倍率(2.5X)であるため、高さ分解能を妥協することなく大きなFOVを獲得できます。 

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焦点移動法

焦点移動法は、大きな粗い表面を測定するために開発された光学技術です。Sensofarによるこのアプローチの採用は、とりわけ低倍率での共焦点測定を補完するために設計されています。この技術は、傾斜の鋭い表面(最大傾度86°)の測定、最高速度(mm/s)の測定、広い垂直範囲に対応していることが特徴です。こうした機能の組み合わせは、主にツーリング用途に適しています。

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SR

分光反射率測定は、薄膜を素早く、正確かつ非破壊的に測定し、サンプル準備は不要です。取得される干渉スペクトルはソフトウェアでシミュレーションされて、ベストフィットが見つかるまで層厚と屈折率を最適化します。これは単一の金属箔、メンブレン、および基質上の多薄層(1から10)に対して良好に機能します。10 nmから20 μmまでの透明膜は、0.1 nmの厚み分解能および最大5 μmの方位分解能で1秒以内に測定できます。

その方法は?

鍵を握るのはマイクロディスプレイです!これを高分解能走査ステージおよび交換可能な対物レンズと組み合わせることで柔軟な光学システムを提供します。たとえば、明視野対物レンズと組み合わせてマイクロディスプレイ上に投射された可変スリットパターンは、共焦点顕微鏡法の必要不可欠な要素です。スリットパターンから平面鏡に替えると、システムは焦点移動法が可能になります。明視野対物レンズから干渉対物レンズに替えると、システムは干渉法が可能になります。

3D表面計測で測定するものは?

非常に一般的に、自然面と加工面の両者は、一次形状またはフォーム(トポグラフィー)で構成されており、さまざまな度合いの構造、うねり、粗さ(2D/3D)を有しています。  これらの表面フィーチャのすべてが意図的または非意図的な(制御内/制御外の)効果を生じています。

これらの効果の相対的大きさがこのアプリケーションによって判断されます(ただし、制御外の効果は必ずしも望ましくないものとは限りません)。  測定の目的は、異なる効果の – 質と量 – を評価することであり、基礎科学研究発見の裏付けや特定産業用途に関するものです。

分野や用途に応じて、構造、うねり、粗さの効果は、仕上がり、触感、テクスチャ、欠陥、印、マイクロ摩耗などとして分類される場合があります。    あるいは、ユーザーは極めて重要な寸法、段差高、最高最低差、体積や傾斜、または均一なマップコーティング厚、その他の表面特性の判断を目的としている場合があります。

目標が、空間三次元表面性状の特定である場合、その結果は、広く普及しつつあるISO 25178規格に定義される適切なパラメータを厳格に求める可能性があります。 工業(表面)製造では、幅広く受け入れられた規格に従ったベストプラクティスを採用することで、製造の効率化、再現性、トレーサビリティを促進できます。

典型的な用途分野には、一般科学と材料研究、オプトエレクトロニクス、データストレージ、自動車、医療テクノロジー、エネルギー、光学 & 光電子工学が含まれます。具体的な用途としては、添加物製造、自動車と民生品のエレクトロニクス、弾道CMPパッドモニタリング微古生物学、ナノテクノロジー、マイクロ製造、光学表面検査、表面機能性とパッシベーションなどがあります。

数多くの科学用途および産業用途の全域にわたる3D表面計測作業と2Dプロファイル計測作業の幅広さは、 Sensofar Metrologyの「3-in-1」アプローチの真の実用性を直接指し示しています。

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