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Technologien

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Konfokal

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Interferometrisch
WLI

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Fokusvariation

Lichtquelle

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550 nm

Abmessungen

Objektiv-Spezifikationen

Hellfeld
MAG 2,5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0,075 0,15 0,30 0,45 0,80 0,90 0,95
WD (mm) 6,5 23,5 17,5 4,5 1,0 1,0 0,2
Sichtfeld (FOV)1 (µm) 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88
Räumliche Abtastung2 (µm) 5,16 2,58 1,29 0,65 0,26 0,13 0,09
Optische Auflösung3 (µm) 2,23 1,11 0,55 0,37 0,21 0,18 0,17
Messzeit4 (s) >3

Konfokal

Vertikale Auflösung5 (nm) 75 25 8 3 2 1
Maximaler Flankenwinkel6 (º) 8 14 21 42 51 71

Fokusvariation

Min. messbare Rauheit Sa > 10 nm
Maximaler Flankenwinkel bis 86º

Andere Objektive auf Anfrage (Konfokal/Fokusvariation):
Wasserimmersion | Super langer Arbeitsabstand | Extra langer Arbeitsabstand | Kragenfokuskorrektur

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. Bei interferometrischen Objektiven kann die räumliche Auflösung die optische Auflösung begrenzen.   4 Für Hellfeld-Objektive, 21 Scanebenen (konfokal).   5 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   6 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen.

Interferometrisch
MAG 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0,13 0,30 0,40 0,55 0,70
WD (mm) 9,3 7,4 4,7 3,4 2,0
Sichtfeld (FOV)1 (µm) 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132
Räumliche Abtastung2 (µm) 2,58 1,29 0,65 0,26 0,13
Optische Auflösung3 (µm) 2,58 1,29 0,65 0,25 0,20
Messzeit4 (s) >3

WLI

Vertikale Auflösung5 (nm) 1
Maximaler Flankenwinkel6 (º) 8 14 21 25 42

1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. Bei interferometrischen Objektiven kann die räumliche Auflösung die optische Auflösung begrenzen.   4 Für interferometrische Objektive 10 μm Scanreichweite.   5 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist.   6 Auf glatten Oberflächen, bis 86º auf rauen Oberflächen. 

Tisch-Spezifikationen

Z LINEARE SKALA
Vertikaler Messbereich 40 mm
Linearität <0,5 µm/mm
Auflösung 2 nm

Computer und Betriebssystem

Computer HP Z230SSF
Bildschirm HP27i 2560×1440 px
Betriebssystem Microsoft Windows 10, 64-Bit
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